Tüýdük örtük prosesinde himiki sintezlenen filmleri taýýarlamak üçin birleşmeler ulanylyp bilner. Şeýle-de bolsa, maksatly material dökülenden soň döredilen filmiň düzümi köplenç maksat materialynyň asyl düzüminden ep-esli sowulýar we şonuň üçin asyl dizaýnyň talaplaryna laýyk gelmeýär. Arassa metal nyşany ulanylsa, zerur işjeň gaz (meselem, oksid filmleri taýýarlanylanda kislorod) işleýän (çykarylýan) gaza aňsatlyk bilen garylýar, şonuň üçin düzümi we aýratynlyklary boýunça gözegçilik edip boljak inçe film öndürmek üçin maksatly material bilen himiki reaksiýa berýär. Bu usula köplenç “reaksiýa tüýkürmek” diýilýär.
Öň bellenip geçilişi ýaly, dielektrik filmleri we dürli goşma filmleri goýmak üçin RF tüýdügi ulanylyp bilner. Şeýle-de bolsa, “arassa” film taýýarlamak üçin “arassa” nyşana, ýokary arassa oksid, nitrit, karbid ýa-da beýleki birleşýän poroşok bolmaly. Bu poroşoklary belli bir görnüşdäki nyşana gaýtadan işlemek, şekillendirmek ýa-da sinterlemek üçin zerur goşundylaryň goşulmagyny talap edýär, bu bolsa nyşanyň arassalygynyň we emele gelen filmiň arassalygynyň ep-esli azalmagyna getirýär. Reaktiw tüýkürmekde ýokary arassa metallar we ýokary arassa gazlar ulanylyp bilinýändigi sebäpli, ýokary arassa filmleri taýýarlamak üçin amatly şertler döredilýär. Reaktiw tüýkürmek soňky ýyllarda has köp ünsi çekdi we dürli funksional birleşmeleriň inçe filmlerini çökdürmegiň esasy usuly boldy. IV, I- we IV-V birleşmeleri, refrakter ýarymgeçirijileri we polikristally Si we CH./Ar gazlaryň garyndysyny ulanmakda SiC inçe filmleri, Ti maksatly we N / Ar önümlerini öndürmekde giňden ulanyldy, Tai taýýarlamak üçin TiN gaty filmleri, Ta we O / Ar; dielektrik inçe filmler, Fe we O, / Ar -FezO taýýarlamak üçin; -FezO. ýazgy filmleri, A1 we N / Ar bilen AIN piezoelektrik filmleri, AI we CO / Ar bilen A1-CO saýlama siňdiriş filmleri we Y-Ba-Cu we O / Ar bilen YBaCuO super geçiriji filmler.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: -20anwar-18-2024