Wakuum katod ark ionycoating vakuum arkasy hökmünde gysgaldylýarcoating. Iki ýa-da has köp wakuum arkasynyň bugarmak çeşmeleri (ýaý çeşmesi diýilýär) ulanylsa, köp ýaýly ion diýilýärcoating ýa-da köp ýaýcoating. Wakuum ion örtük tehnologiýasy, bugarmak çeşmeleri üçin wakuum ýaýyň akymyny ulanýar. Boş katod akymynyň gyzgyn elektron arkasyndan tapawutlylykda, onuň ýaý görnüşi sowuk katodyň üstünde katod ýaýlarynyň döremegidir.
Wakuum katod ark ionynyň aýratynlyklarycoating:
(1) Bugarmagyň çeşmesi, eredilen howuz zerurlygy bolmazdan, katodyň maksat çeşmesinden gönüden-göni plazma döredýän gaty katod nyşanydyr. Arkanyň maksat çeşmesi birmeňzeş örtügi üpjün etmek üçin islendik ugurda we birnäçe çeşmede tertipleşdirilip bilner.
(2) Enjamyň gurluşy has ýönekeý, işleýän gaz ýa-da kömekçi ionlaşdyrma usullary zerurlygy bolmazdan. Arkanyň maksat çeşmesi diňe bir katod materialy üçin bugarmak çeşmesi bolman, eýsem ion çeşmesidir; Reaktiw çöketlik wagtynda diňe reaktiw gaz bar we atmosfera ýönekeý doly basyş gözegçiligi arkaly dolandyrylýar.
(3) Ionizasiýa derejesi ýokary, köplenç 60% ~ 80% -e, depozit derejesi bolsa ýokary.
(4) Waka ion energiýasy ýokary, goýlan filmiň film / substrat baglanyşyk güýji gowy.
(5) Howpsuz işlemek üçin pes woltly tok üpjünçiligini ulanmak.
. Häzirki wagtda bu mikro damjalary azaltmak we ýok etmek üçin köp täsirli usullar öwrenildi.
Wakuum ark ionycoating tehnologiýasy gurallar we galyplar üçin superhard gorag örtüklerini örtmek üçin giňden ulanyldy. Film ulgamlaryna TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC we başgalar girýär. Örtük önümleri gurallar, galyplar we ş.m. imitasiýa altyn we reňk bezeg gorag örtükleri nukdaýnazaryndan film ulgamlaryna TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, ON, TiNC, ON Reňkli film ulgamlaryna ýarag gara, gara, gyrmyzy, goňur, gök ýaşyl çal we ş.m.
Köp ýaýly ioncoating, esasanam kesiş gurallary, galyplar we poslamaýan polat plitalar ýaly materiallaryň ýüzünde bezeg we könelişmeýän gaty film gatlaklaryny örtmekde köp sanly amaly we güýçli amaly ýerine ýetirýär.
Iş wagty: Awgust-17-2023