อาร์คไอออนแคโทดสูญญากาศcoแอททิงมีชื่อย่อว่า vacuum arccoหากใช้แหล่งระเหยอาร์คสูญญากาศสองแหล่งขึ้นไป (เรียกว่าแหล่งอาร์ค) จะเรียกว่าไอออนอาร์คหลายจุดcoอะทิ่งหรือมัลติอาร์คcoการเคลือบด้วยไอออนสูญญากาศเป็นเทคโนโลยีที่ใช้การคายประจุแบบอาร์กสูญญากาศเป็นแหล่งกำเนิดการระเหย ซึ่งแตกต่างจากการคายประจุแบบอิเล็กตรอนร้อนของการคายประจุแบบแคโทดกลวง รูปแบบการคายประจุของมันคือการก่อตัวของจุดอาร์กแคโทดบนพื้นผิวของแคโทดเย็น
ลักษณะของอาร์คไอออนแคโทดสูญญากาศcoการรับประทานอาหารมีดังนี้:
(1) แหล่งระเหยเป็นเป้าหมายแคโทดแบบแข็ง ซึ่งสร้างพลาสมาจากแหล่งเป้าหมายแคโทดโดยตรงโดยไม่ต้องใช้แอ่งหลอมเหลว แหล่งเป้าหมายอาร์คสามารถจัดวางในทิศทางใดก็ได้และหลายแหล่งเพื่อให้แน่ใจว่ามีการเคลือบที่สม่ำเสมอ
(2) โครงสร้างอุปกรณ์ค่อนข้างเรียบง่าย โดยไม่ต้องใช้ก๊าซทำงานหรือวิธีการสร้างไอออนเสริม แหล่งเป้าหมายของอาร์คไม่เพียงแต่เป็นแหล่งระเหยของวัสดุแคโทดเท่านั้น แต่ยังเป็นแหล่งไอออนอีกด้วย ในระหว่างการสะสมปฏิกิริยา จะมีเพียงก๊าซปฏิกิริยาเท่านั้น และบรรยากาศจะถูกควบคุมโดยใช้การควบคุมความดันเต็มรูปแบบที่เรียบง่าย
(3) อัตราการแตกตัวเป็นไอออนสูง โดยทั่วไปจะอยู่ที่ 60%~80% และอัตราการสะสมก็สูง
(4) พลังงานไอออนตกกระทบมีค่าสูง และแรงยึดเกาะฟิล์ม/พื้นผิวของฟิล์มที่สะสมมีค่าดี
(5) ใช้แหล่งจ่ายไฟแรงดันต่ำเพื่อการดำเนินงานที่ปลอดภัย
(6) สามารถเคลือบฟิล์มโลหะ ฟิล์มโลหะผสม ทำปฏิกิริยาและสังเคราะห์ฟิล์มสารประกอบต่างๆ (สารประกอบแอมโมเนีย คาร์ไบด์ ออกไซด์) และแม้แต่สังเคราะห์ฟิล์ม DLC ฟิล์ม CN เป็นต้น ข้อเสียคือในระหว่างการเคลือบ หยดของเหลวขนาดเล็กจะกระเซ็นจากพื้นผิวเป้าหมาย ซึ่งจะควบแน่นในชั้นฟิล์มเคลือบและเพิ่มความหยาบของชั้นฟิล์ม ปัจจุบันมีการศึกษาวิธีที่มีประสิทธิภาพหลายวิธีเพื่อลดและกำจัดหยดของเหลวขนาดเล็กเหล่านี้
ไอออนอาร์คสูญญากาศcoเทคโนโลยีการเคลือบแบบ ating ถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในการเคลือบผิวป้องกันแบบแข็งพิเศษสำหรับเครื่องมือและแม่พิมพ์ ระบบฟิล์ม ได้แก่ TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC เป็นต้น ผลิตภัณฑ์เคลือบผิว ได้แก่ เครื่องมือ แม่พิมพ์ เป็นต้น ในแง่ของการเคลือบป้องกันสีทองเลียนแบบและสีตกแต่ง ระบบฟิล์ม ได้แก่ TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON เป็นต้น ระบบฟิล์มสี ได้แก่ ปืนดำ ดำ ม่วง น้ำตาล น้ำเงิน เขียว เทา เป็นต้น
ไอออนมัลติอาร์คcoสารเคลือบผิวมีขอบเขตการใช้งานที่หลากหลายและใช้งานได้จริง โดยเฉพาะในการเคลือบชั้นฟิล์มแข็งเพื่อการตกแต่งและทนต่อการสึกหรอบนพื้นผิววัสดุ เช่น เครื่องมือตัด แม่พิมพ์ และแผ่นสแตนเลส
เวลาโพสต์ : 17 ส.ค. 2566