A. Меъёри баланди пошидан. Масалан, ҳангоми пошидани SiO2, суръати таҳшиншавӣ метавонад то 200 нм/дақ, одатан то 10 ~ 100 нм/дақ бошад.
Ва суръати ташаккули филм мустақиман ба қувваи басомади баланд мутаносиб аст.
B.The часпак байни филм ва субстрат бузургтар аз љойгиршавии буѓи вакууми қабати филм аст,. Ин аз сабаби пойгоҳи бадани атоми ҳодиса энергияи миёнаи кинетикӣ тақрибан 10eV аст ва дар оксиген плазма ба тозакунии сахти пошхӯрӣ дучор мешавад, ки дар натиҷа дар қабати мембрана сӯрохҳои камтар, тозагии баланд, қабати зиччи мембрана ба вуҷуд меояд.
C.Wide мутобиқшавии маводи мембрана, ё металлӣ ё ғайриметаллӣ ё пайвастагиҳои, қариб ҳамаи маводҳои мумкин аст ба судї мудаввар омода, мумкин аст барои муддати дароз истифода бурда мешавад.
D.Талабот ба шакли субстрат серталаб нестанд. Сатҳи нобаробари субстрат ё мавҷудияти сӯрохиҳои хурд бо паҳнои камтар аз 1 мм низ метавонад ба филм пошида шавад.
Истифодаи қабати пошидани радиобасомад Дар асоси хусусиятҳои дар боло овардашуда, рӯйпӯше, ки дар натиҷаи пошидани радиобасомад гузошта шудааст, дар айни замон васеътар истифода мешавад, махсусан дар тайёр кардани схемаҳои интегралӣ ва плёнкаи функсияи диэлектрикӣ махсусан васеъ истифода мешавад. Масалан, маводи ғайриноқилӣ ва нимноқилӣ, ки дар натиҷаи пошидани РБ ҷойгир шудаанд, аз ҷумла элементҳо: нимноқилҳои Si ва Ge, маводи мураккаби GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, нимноқилҳои ҳарорати баланд SiC, пайвастагиҳои ферроэлектрикӣ маводи гази B14T3O2O2, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, шиша, пластик ва ғ.
Агар дар камераи пӯшиш якчанд ҳадаф ҷойгир карда шавад, инчунин дар як камера бидуни вайрон кардани вакуум дар як вақт тайёр кардани плёнкаи бисёрқабатаро анҷом додан мумкин аст. Дастгоҳи махсуси электроди басомади радиобасомад барои ҳалқаҳои дарунӣ ва беруна барои тайёр кардани қабати дисульфидӣ намунаи таҷҳизотест, ки дар басомади радиобасомади 11,36 МГс, шиддати ҳадафи 2 ~ 3 кВ, иқтидори умумии 12 кВт, диапазони кории қувваи индуксияи магнитӣ 0,008 Т, лимити вакуум истифода мешавад. 6,5X10-4Па. суръати баланд ва пасти пасандоз. Гузашта аз ин, самаранокии истифодаи қувваи пошидани РБ паст аст ва миқдори зиёди нерӯ ба гармӣ табдил меёбад, ки аз оби хунуккунии ҳадаф гум мешавад.
-Ин мақоларо нашр кардаастистеҳсолкунандаи мошини молидани чангкашакГуандун Чжэнхуа
Вақти интишор: Декабр-21-2023