RF స్పట్టరింగ్ పూత ప్రధాన లక్షణాలు

ఎ. అధిక స్పట్టరింగ్ రేటు. ఉదాహరణకు, SiO2 ను స్పట్టరింగ్ చేసేటప్పుడు, నిక్షేపణ రేటు 200nm/min వరకు ఉంటుంది, సాధారణంగా 10~100nm/min వరకు ఉంటుంది.

మరియు ఫిల్మ్ నిర్మాణ రేటు అధిక పౌనఃపున్య శక్తికి నేరుగా అనులోమానుపాతంలో ఉంటుంది.

బి. ఫిల్మ్ మరియు సబ్‌స్ట్రేట్ మధ్య సంశ్లేషణ ఫిల్మ్ పొర యొక్క వాక్యూమ్ ఆవిరి నిక్షేపణ కంటే ఎక్కువగా ఉంటుంది. ఇది సంఘటన అణువు యొక్క శరీరానికి బేస్ యొక్క సగటు గతి శక్తి సుమారు 10eV కారణంగా ఉంటుంది మరియు ప్లాస్మా సబ్‌స్ట్రేట్‌లో కఠినమైన స్పట్టరింగ్ క్లీనింగ్‌కు లోనవుతుంది, ఫలితంగా పొర పొరలో తక్కువ పిన్‌హోల్స్, అధిక స్వచ్ఛత, దట్టమైన పొర పొర ఏర్పడుతుంది.

సి.మెమ్బ్రేన్ మెటీరియల్ యొక్క విస్తృత అనుకూలత, లోహం లేదా లోహం కాని లేదా సమ్మేళనాలు, దాదాపు అన్ని పదార్థాలను ఒక గుండ్రని ప్లేట్‌గా తయారు చేయవచ్చు, ఎక్కువ కాలం ఉపయోగించవచ్చు.

D. సబ్‌స్ట్రేట్ ఆకారానికి అవసరాలు డిమాండ్ చేయడం లేదు. సబ్‌స్ట్రేట్ యొక్క అసమాన ఉపరితలం లేదా 1 మిమీ కంటే తక్కువ వెడల్పు ఉన్న చిన్న చీలికల ఉనికిని కూడా ఫిల్మ్‌గా చిమ్మవచ్చు.

రేడియో ఫ్రీక్వెన్సీ స్పట్టరింగ్ పూత యొక్క అప్లికేషన్ పైన పేర్కొన్న లక్షణాల ఆధారంగా, రేడియో ఫ్రీక్వెన్సీ స్పట్టరింగ్ ద్వారా జమ చేయబడిన పూత ప్రస్తుతం విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతోంది, ముఖ్యంగా ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్లు మరియు డైఎలెక్ట్రిక్ ఫంక్షన్ ఫిల్మ్ తయారీలో ముఖ్యంగా విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది. ఉదాహరణకు, RF స్పట్టరింగ్ ద్వారా జమ చేయబడిన నాన్-కండక్టర్ మరియు సెమీకండక్టర్ పదార్థాలు, వీటిలో మూలకాలు ఉన్నాయి: సెమీకండక్టర్ Si మరియు Ge, సమ్మేళన పదార్థాలు GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, అధిక-ఉష్ణోగ్రత సెమీకండక్టర్లు SiC, ఫెర్రోఎలెక్ట్రిక్ సమ్మేళనాలు B14T3O12, గ్యాసిఫికేషన్ ఆబ్జెక్ట్ పదార్థాలు In2Os, SiO2, Al203, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, గాజు, ప్లాస్టిక్ మొదలైనవి.

పూత గదిలో అనేక లక్ష్యాలను ఉంచినట్లయితే, ఒకేసారి వాక్యూమ్‌ను నాశనం చేయకుండా ఒకే గదిలో బహుళ-పొర ఫిల్మ్ తయారీని పూర్తి చేయడం కూడా సాధ్యమే. డైసల్ఫైడ్ పూత తయారీకి లోపలి మరియు బయటి వలయాలను బేరింగ్ చేయడానికి అంకితమైన ఎలక్ట్రోడ్ రేడియో ఫ్రీక్వెన్సీ పరికరం రేడియో ఫ్రీక్వెన్సీ సోర్స్ ఫ్రీక్వెన్సీలో ఉపయోగించే పరికరాలకు ఉదాహరణ 11.36MHz, లక్ష్య వోల్టేజ్ 2 ~ 3kV, మొత్తం శక్తి 12kW, అయస్కాంత ప్రేరణ బలం యొక్క పని పరిధి 0.008T, వాక్యూమ్ చాంబర్ వాక్యూమ్ యొక్క పరిమితి 6.5X10-4Pa. అధిక మరియు తక్కువ నిక్షేపణ రేటు. అంతేకాకుండా, RF స్పట్టరింగ్ పవర్ వినియోగ సామర్థ్యం తక్కువగా ఉంటుంది మరియు పెద్ద మొత్తంలో శక్తి వేడిగా మార్చబడుతుంది, ఇది లక్ష్యం యొక్క శీతలీకరణ నీటి నుండి పోతుంది.

–ఈ వ్యాసం ప్రచురించినదివాక్యూమ్ కోటింగ్ యంత్ర తయారీదారుగ్వాంగ్‌డాంగ్ జెన్‌హువా