A. Kiwango cha juu cha sputtering. Kwa mfano, wakati wa kunyunyiza SiO2, kasi ya uwekaji inaweza kuwa hadi 200nm/min, kwa kawaida hadi 10~100nm/min.
Na kiwango cha uundaji wa filamu ni sawia moja kwa moja na nguvu ya juu ya mzunguko.
B. Kushikamana kati ya filamu na substrate ni kubwa zaidi kuliko uwekaji wa mvuke wa utupu wa safu ya filamu. Hii ni kutokana na msingi kwa mwili wa tukio chembe wastani nishati kinetic ya kuhusu 10eV, na katika substrate plasma itakuwa wanakabiliwa na kusafisha kali sputtering kusababisha pinholes chini katika safu ya utando, usafi wa juu, mnene utando safu.
C. Kubadilika kwa upana wa nyenzo za membrane, chuma au zisizo za chuma au misombo, karibu vifaa vyote vinaweza kutayarishwa kwenye sahani ya pande zote, inaweza kutumika kwa muda mrefu.
D.Mahitaji ya umbo la substrate hayahitajiki. Uso usio na usawa wa substrate au kuwepo kwa slits ndogo na upana wa chini ya 1mm pia inaweza kupigwa kwenye filamu.
Utumiaji wa mipako ya kunyunyiza kwa masafa ya redio Kulingana na sifa zilizo hapo juu, mipako iliyowekwa na sputtering ya masafa ya redio kwa sasa inatumika sana, haswa katika utayarishaji wa saketi zilizojumuishwa na filamu ya kazi ya dielectric hutumiwa sana. Kwa mfano, nyenzo zisizo za kondakta na semiconductor zilizowekwa na RF sputtering, ikiwa ni pamoja na vipengele: semiconductor Si na Ge, vifaa vya kiwanja GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, semiconductors za joto la juu SiC, misombo ya ferroelectric B14O2O3O, vifaa vya ferroelectric B14O2O3O. Al203, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, kioo, plastiki, nk.
Ikiwa malengo kadhaa yanawekwa kwenye chumba cha mipako, inawezekana pia kukamilisha maandalizi ya filamu ya safu nyingi kwenye chumba kimoja bila kuharibu utupu kwa wakati mmoja. Kifaa kilichojitolea cha mzunguko wa redio ya electrode kwa kuzaa pete za ndani na nje kwa ajili ya maandalizi ya mipako ya disulfidi ni mfano wa vifaa vinavyotumiwa katika mzunguko wa chanzo cha redio cha 11.36MHz, lengo la voltage ya 2 ~ 3kV, jumla ya nguvu ya 12kW, safu ya kazi ya nguvu ya introduktionsutbildning ya 0.008T, kikomo cha utupu 6.5-Pax1 kiwango cha juu na cha chini cha utuaji. Zaidi ya hayo, ufanisi wa matumizi ya nguvu ya RF ni mdogo, na kiasi kikubwa cha nguvu hubadilishwa kuwa joto, ambalo hupotea kutoka kwa maji ya baridi ya lengo.
- Nakala hii imetolewa namtengenezaji wa mashine ya mipako ya utupuGuangdong Zhenhua
Muda wa kutuma: Dec-21-2023