A. Sekhahla se phahameng sa sputtering. Mohlala, ha u fafatsa SiO2, sekhahla sa deposition se ka fihla ho 200nm/min, hangata ho fihla ho 10 ~ 100nm/min.
'Me sekhahla sa ho etsoa ha filimi se lekana ka ho toba le matla a phahameng a maqhubu.
B. Ho khomarela pakeng tsa filimi le substrate e kholo ho feta ho behoa ha mouoane oa vacuum ea lera la filimi. Sena se bakoa ke motheo oa 'mele oa ketsahalo ea athomo ka karolelano matla a kinetic a ka bang 10eV,' me karolong e ka tlaase ea plasma e tla behoa tlas'a tlhoekiso e thata ea sputtering e bakang li-pinholes tse fokolang ka har'a lera, bohloeki bo phahameng, lera le letenya.
C. Ho ikamahanya le maemo a pharaletseng a lisebelisoa tsa lera, ebang ke tšepe kapa e seng tšepe kapa metsoako, hoo e ka bang lisebelisoa tsohle li ka lokisoa ka poleiti e chitja, e ka sebelisoa nako e telele.
D. Litlhoko tsa sebopeho sa substrate ha li hlokehe. Sebaka se sa tsitsang sa substrate kapa ho ba teng ha li-slits tse nyenyane tse nang le bophara bo ka tlaase ho 1mm le tsona li ka tšeloa ka filimi.
Tšebeliso ea sekoaelo sa radio frequency sputtering Ho ipapisitsoe le litšoaneleho tse kaholimo, sekoaelo se kentsoeng ke radio frequency sputtering hajoale se sebelisoa haholo, haholo ha ho lokisoa li-circuits tse kopaneng le filimi ea tšebetso ea dielectric e sebelisoa haholo. Mohlala, lisebelisoa tse seng tsa conductor le semiconductor tse kentsoeng ke RF sputtering, ho kenyeletsoa likarolo: semiconductor Si le Ge, lisebelisoa tsa komporo ea GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, li-semiconductors tse phahameng tsa mocheso SiC, metsoako ea ferroelectric B14O2O3O thepa ea B12O2O3O. Al203, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, khalase, polasetiki, joalo-joalo.
Haeba lipehelo tse 'maloa li behiloe ka kamoreng ea ho roala, ho ka boela ha khoneha ho phethahatsa ho lokisoa ha filimi ea li-multi-layer ka kamoreng e le' ngoe ntle le ho senya sekheo ka nako e le 'ngoe. Sesebelisoa sa maqhubu a seea-le-moea sa elektrode se ikemiselitseng ho jara mehele ea ka hare le ea ka ntle bakeng sa ho lokisetsa ho roala ha disulfide ke mohlala oa lisebelisoa tse sebelisoang maqhubu a maqhubu a seea-le-moea a 11.36MHz, sepheo sa motlakase oa 2 ~ 3kV, matla a kakaretso ea 12kW, sebaka sa ho sebetsa sa matla a khoheli a 0.008T, moeli oa vacuum ea 6.5 Paa X1. sekhahla se phahameng le se tlase sa deposition. Ho feta moo, ts'ebeliso ea matla a RF sputtering e tlase, 'me matla a mangata a fetoloa mocheso, o lahleheloang ke metsi a pholileng a sepheo.
-Sengoliloeng sena se lokolloa kemoetsi oa mochine oa vacuum coatingGuangdong Zhenhua
Nako ea poso: Dec-21-2023