А. Висока брзина распршивања. На пример, приликом распршивања SiO2, брзина таложења може бити до 200 нм/мин, обично до 10~100 нм/мин.
А брзина формирања филма је директно пропорционална снази високе фреквенције.
Б. Адхезија између филма и подлоге је већа него код вакуумског наношења паре на слој филма. То је због просечне кинетичке енергије базе у односу на тело упадног атома од око 10eV, а у плазма подлози ће бити подвргнута строгом чишћењу распршивањем, што резултира мањим бројем рупица у мембранском слоју, високом чистоћом и густим мембранским слојем.
Ц. Широка прилагодљивост мембранског материјала, било металног или неметалног или једињења, скоро сви материјали се могу припремити у округлу плочу, могу се користити дуго времена.
D. Захтеви за облик подлоге нису захтевни. Неравна површина подлоге или постојање малих прореза ширине мање од 1 мм такође се могу распршити у филм.
Примена премаза радиофреквентним распршивањем На основу горе наведених карактеристика, премаз нанет радиофреквентним распршивањем се тренутно шире користи, посебно у изради интегрисаних кола, а диелектрични филм се посебно широко користи. На пример, непроводнички и полупроводнички материјали нанети РФ распршивањем, укључујући елементе: полупроводнички Si и Ge, сложени материјали GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, високотемпературни полупроводници SiC, фероелектрична једињења B14T3O12, материјали за гасификацију In2Os, SiO2, Al203, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, стакло, пластика итд.
Ако се неколико мета постави у комору за премазивање, могуће је завршити припрему вишеслојног филма у истој комори без истовременог уништавања вакуума. Наменски електродни радиофреквентни уређај за унутрашње и спољашње прстенове лежајева за припрему дисулфидног премаза је пример опреме која се користи у радиофреквентној изворној фреквенцији од 11,36 MHz, напону мете од 2 ~ 3 kV, укупној снази од 12 kW, радном опсегу јачине магнетне индукције од 0,008 T, граници вакуума вакуумске коморе је 6,5X10-4Pa. Висока и ниска брзина таложења. Штавише, ефикасност коришћења РФ снаге распршивања је ниска, а велика количина енергије се претвара у топлоту, која се губи из воде за хлађење мете.
–Овај чланак је објављен од странепроизвођач машина за вакуумско премазивањеГуангдонг Зхенхуа
Време објаве: 21. децембар 2023.