آر ايف اسپٽرنگ ڪوٽنگ جون مکيه خاصيتون

الف. تيز ڦڦڙ جي شرح. مثال طور، جڏهن SiO2 ڦڦڙ ڪيو ويندو آهي، ته جمع ٿيڻ جي شرح 200nm/منٽ تائين ٿي سگهي ٿي، عام طور تي 10~100nm/منٽ تائين.

۽ فلم ٺهڻ جي شرح سڌو سنئون اعليٰ تعدد جي طاقت جي متناسب آهي.

ب. فلم ۽ سبسٽريٽ جي وچ ۾ چپکڻ فلم پرت جي ويڪيوم وانپ جمع کان وڌيڪ آهي. اهو واقع ايٽم جي جسم جي بنياد جي ڪري آهي سراسري حرڪي توانائي تقريبن 10eV آهي، ۽ پلازما سبسٽريٽ ۾ سخت اسپٽرنگ صفائي جي تابع ڪئي ويندي جنهن جي نتيجي ۾ جھلي جي پرت ۾ گهٽ پن هول، اعلي پاڪائي، گهاٽي جھلي جي پرت هوندي.

ج. جھلي جي مواد جي وسيع موافقت، يا ته ڌاتو هجي يا غير ڌاتو يا مرڪب، تقريبن سڀئي مواد گول پليٽ ۾ تيار ڪري سگهجن ٿا، ڊگهي وقت تائين استعمال ڪري سگهجن ٿا.

د. سبسٽريٽ جي شڪل جون گهرجون سخت نه آهن. سبسٽريٽ جي غير هموار مٿاڇري يا 1 ملي ميٽر کان گهٽ ويڪر سان ننڍڙن سلٽس جي موجودگي کي به فلم ۾ ڦاسائي سگهجي ٿو.

ريڊيو فريڪوئنسي اسپٽرنگ ڪوٽنگ جو استعمال مٿين خاصيتن جي بنياد تي، ريڊيو فريڪوئنسي اسپٽرنگ ذريعي جمع ٿيل ڪوٽنگ هن وقت وڌيڪ وڏي پيماني تي استعمال ٿئي ٿي، خاص طور تي انٽيگريٽڊ سرڪٽ ۽ ڊائي اليڪٽرڪ فنڪشن فلم جي تياري ۾ خاص طور تي وڏي پيماني تي استعمال ٿئي ٿي. مثال طور، آر ايف اسپٽرنگ ذريعي جمع ٿيل غير ڪنڊڪٽر ۽ سيمي ڪنڊڪٽر مواد، جن ۾ عنصر شامل آهن: سيمي ڪنڊڪٽر سي ۽ جي، مرڪب مواد GsAs، GaSb، GaN، InSb، InN، AIN، CaSe، Cds، PbTe، اعليٰ درجه حرارت وارا سيمي ڪنڊڪٽر SiC، فيرو اليڪٽرڪ مرڪب B14T3O12، گيسيفڪيشن آبجيڪٽ مواد In2Os، SiO2، Al203، Y203، TiO2، ZiO2، SnO2، PtO، HfO2، Bi2O2، ZnO2، CdO، گلاس، پلاسٽڪ، وغيره.

جيڪڏهن ڪوٽنگ چيمبر ۾ ڪيترائي هدف رکيا وڃن، ته هڪ ئي وقت ۾ ويڪيوم کي تباهه ڪرڻ کان سواءِ ساڳئي چيمبر ۾ ملٽي ليئر فلم جي تياري مڪمل ڪرڻ پڻ ممڪن آهي. ڊسلفائيڊ ڪوٽنگ جي تياري لاءِ اندروني ۽ ٻاهرين حلقن کي برداشت ڪرڻ لاءِ وقف ٿيل اليڪٽرروڊ ريڊيو فريڪوئنسي ڊيوائس ريڊيو فريڪوئنسي سورس فريڪوئنسي ۾ استعمال ٿيندڙ سامان جو هڪ مثال آهي 11.36MHz، ٽارگيٽ وولٽيج 2 ~ 3kV، ڪل پاور 12kW، مقناطيسي انڊڪشن طاقت جي ڪم ڪندڙ رينج 0.008T، ويڪيوم چيمبر ويڪيوم جي حد 6.5X10-4Pa آهي. اعليٰ ۽ گهٽ جمع جي شرح. ان کان علاوه، آر ايف اسپٽرنگ پاور استعمال جي ڪارڪردگي گهٽ آهي، ۽ وڏي مقدار ۾ طاقت گرمي ۾ تبديل ٿي ويندي آهي، جيڪا ٽارگيٽ جي ٿڌي پاڻي مان گم ٿي ويندي آهي.

- هي مضمون شايع ٿيل آهيويڪيوم ڪوٽنگ مشين ٺاهيندڙگوانگڊونگ زينوا