الف. د سپټرینګ لوړه کچه. د مثال په توګه، کله چې SiO2 سپټرینګ کیږي، د جمع کولو کچه تر 200nm/min پورې کیدی شي، معمولا تر 10~100nm/min پورې.
او د فلم جوړولو کچه د لوړې فریکونسۍ ځواک سره مستقیم متناسب ده.
ب. د فلم او سبسټریټ ترمنځ چپکتیا د فلم طبقې د ویکیوم بخار زیرمو څخه ډیره ده. دا د پیښې اتوم بدن ته د اساس له امله ده چې اوسط حرکي انرژي شاوخوا 10eV ده، او په پلازما سبسټریټ کې به د سخت سپټرینګ پاکولو سره مخ شي چې په پایله کې د غشا طبقې کې لږ پن سوراخونه، لوړ پاکوالی، او د غشا ګڼ طبقه رامینځته کیږي.
ج. د غشا موادو پراخه تطابق، یا فلزي یا غیر فلزي یا مرکبات، تقریبا ټول مواد په ګردي پلیټ کې چمتو کیدی شي، د اوږدې مودې لپاره کارول کیدی شي.
د. د سبسټریټ د شکل لپاره اړتیاوې سختې نه دي. د سبسټریټ نا مساوي سطحه یا د 1 ملي میتر څخه کم پلنوالي سره د کوچنیو درزونو شتون هم په فلم کې اچول کیدی شي.
د راډیو فریکونسي سپټرینګ کوټینګ کارول د پورته ځانګړتیاو پراساس، د راډیو فریکونسي سپټرینګ لخوا زیرمه شوی کوټینګ اوس مهال په پراخه کچه کارول کیږي، په ځانګړي توګه د مدغم سرکټونو او ډایالټریک فعالیت فلم چمتو کولو کې په ځانګړي ډول په پراخه کچه کارول کیږي. د مثال په توګه، د RF سپټرینګ لخوا زیرمه شوي غیر کنډکټر او سیمیکمډکټر مواد، پشمول د عناصرو: سیمیکمډکټر Si او Ge، مرکب مواد GsAs، GaSb، GaN، InSb، InN، AIN، CaSe، Cds، PbTe، د لوړ تودوخې سیمیکمډکټرونه SiC، فیرو الیکټریک مرکبات B14T3O12، د ګاز کولو اعتراض مواد In2Os، SiO2، Al203، Y203، TiO2، ZiO2، SnO2، PtO، HfO2، Bi2O2، ZnO2، CdO، شیشه، پلاستیک، او نور.
که چیرې د کوټینګ چیمبر کې څو هدفونه ځای په ځای شي، نو دا هم ممکنه ده چې په ورته چیمبر کې د څو پرتونو فلم چمتو کول په یو وخت کې د خلا له منځه وړلو پرته بشپړ شي. د ډیسلفایډ کوټینګ چمتو کولو لپاره د داخلي او بهرني حلقو د بارولو لپاره وقف شوی الیکټروډ راډیو فریکونسي وسیله د 11.36MHz د راډیو فریکونسي سرچینې فریکونسۍ کې کارول شوي تجهیزاتو مثال دی، د 2 ~ 3kV هدف ولټاژ، د 12kW ټول ځواک، د 0.008T د مقناطیسي انډکشن ځواک کاري حد، د ویکیوم چیمبر ویکیوم حد 6.5X10-4Pa دی. لوړ او ټیټ زیرمه کچه. سربیره پردې، د RF سپټرینګ بریښنا کارولو موثریت ټیټ دی، او د بریښنا لویه اندازه په تودوخې بدلیږي، کوم چې د هدف د یخولو اوبو څخه ضایع کیږي.
- دا مقاله د لخوا خپره شوې دهد ویکیوم کوټینګ ماشین جوړونکیګوانګډونګ ژینوا
د پوسټ وخت: دسمبر-۲۱-۲۰۲۳