A. ਉੱਚ ਸਪਟਰਿੰਗ ਦਰ। ਉਦਾਹਰਨ ਲਈ, ਜਦੋਂ SiO2 ਨੂੰ ਸਪਟਰ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਜਮ੍ਹਾਂ ਹੋਣ ਦੀ ਦਰ 200nm/ਮਿੰਟ ਤੱਕ ਹੋ ਸਕਦੀ ਹੈ, ਆਮ ਤੌਰ 'ਤੇ 10~100nm/ਮਿੰਟ ਤੱਕ।
ਅਤੇ ਫਿਲਮ ਬਣਨ ਦੀ ਦਰ ਉੱਚ ਫ੍ਰੀਕੁਐਂਸੀ ਪਾਵਰ ਦੇ ਸਿੱਧੇ ਅਨੁਪਾਤੀ ਹੈ।
B. ਫਿਲਮ ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟ ਵਿਚਕਾਰ ਚਿਪਕਣ ਫਿਲਮ ਪਰਤ ਦੇ ਵੈਕਿਊਮ ਵਾਸ਼ਪ ਜਮ੍ਹਾ ਹੋਣ ਨਾਲੋਂ ਵੱਧ ਹੈ। ਇਹ ਘਟਨਾ ਪਰਮਾਣੂ ਦੇ ਸਰੀਰ ਦੇ ਅਧਾਰ ਦੇ ਕਾਰਨ ਹੈ ਔਸਤ ਗਤੀ ਊਰਜਾ ਲਗਭਗ 10eV ਹੈ, ਅਤੇ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਸਬਸਟਰੇਟ ਵਿੱਚ ਸਖ਼ਤ ਸਪਟਰਿੰਗ ਸਫਾਈ ਦੇ ਅਧੀਨ ਕੀਤਾ ਜਾਵੇਗਾ ਜਿਸਦੇ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਝਿੱਲੀ ਪਰਤ ਵਿੱਚ ਘੱਟ ਪਿੰਨਹੋਲ, ਉੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ, ਸੰਘਣੀ ਝਿੱਲੀ ਪਰਤ ਹੋਵੇਗੀ।
C. ਝਿੱਲੀ ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਵਿਆਪਕ ਅਨੁਕੂਲਤਾ, ਭਾਵੇਂ ਧਾਤ ਹੋਵੇ ਜਾਂ ਗੈਰ-ਧਾਤੂ ਜਾਂ ਮਿਸ਼ਰਣ, ਲਗਭਗ ਸਾਰੀਆਂ ਸਮੱਗਰੀਆਂ ਨੂੰ ਇੱਕ ਗੋਲ ਪਲੇਟ ਵਿੱਚ ਤਿਆਰ ਕੀਤਾ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਲੰਬੇ ਸਮੇਂ ਲਈ ਵਰਤਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।
D. ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੀ ਸ਼ਕਲ ਲਈ ਲੋੜਾਂ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਨਹੀਂ ਹਨ। ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੀ ਅਸਮਾਨ ਸਤਹ ਜਾਂ 1mm ਤੋਂ ਘੱਟ ਚੌੜਾਈ ਵਾਲੇ ਛੋਟੇ ਚੀਰ ਦੀ ਮੌਜੂਦਗੀ ਨੂੰ ਵੀ ਇੱਕ ਫਿਲਮ ਵਿੱਚ ਫੈਲਾਇਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ।
ਰੇਡੀਓ ਫ੍ਰੀਕੁਐਂਸੀ ਸਪਟਰਿੰਗ ਕੋਟਿੰਗ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਉਪਰੋਕਤ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਦੇ ਆਧਾਰ 'ਤੇ, ਰੇਡੀਓ ਫ੍ਰੀਕੁਐਂਸੀ ਸਪਟਰਿੰਗ ਦੁਆਰਾ ਜਮ੍ਹਾ ਕੀਤੀ ਗਈ ਕੋਟਿੰਗ ਵਰਤਮਾਨ ਵਿੱਚ ਵਧੇਰੇ ਵਿਆਪਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਵਰਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਖਾਸ ਕਰਕੇ ਏਕੀਕ੍ਰਿਤ ਸਰਕਟਾਂ ਅਤੇ ਡਾਈਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਫੰਕਸ਼ਨ ਫਿਲਮ ਦੀ ਤਿਆਰੀ ਵਿੱਚ। ਉਦਾਹਰਣ ਵਜੋਂ, RF ਸਪਟਰਿੰਗ ਦੁਆਰਾ ਜਮ੍ਹਾ ਕੀਤੇ ਗਏ ਗੈਰ-ਕੰਡਕਟਰ ਅਤੇ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਸਮੱਗਰੀ, ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਤੱਤ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ: ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ Si ਅਤੇ Ge, ਮਿਸ਼ਰਿਤ ਸਮੱਗਰੀ GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ SiC, ਫੇਰੋਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਮਿਸ਼ਰਣ B14T3O12, ਗੈਸੀਫੀਕੇਸ਼ਨ ਵਸਤੂ ਸਮੱਗਰੀ In2Os, SiO2, Al203, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, ਕੱਚ, ਪਲਾਸਟਿਕ, ਆਦਿ।
ਜੇਕਰ ਕੋਟਿੰਗ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ ਕਈ ਟੀਚੇ ਰੱਖੇ ਜਾਂਦੇ ਹਨ, ਤਾਂ ਇੱਕੋ ਸਮੇਂ ਵੈਕਿਊਮ ਨੂੰ ਨਸ਼ਟ ਕੀਤੇ ਬਿਨਾਂ ਇੱਕੋ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ ਮਲਟੀ-ਲੇਅਰ ਫਿਲਮ ਦੀ ਤਿਆਰੀ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰਨਾ ਵੀ ਸੰਭਵ ਹੈ। ਡਾਈਸਲਫਾਈਡ ਕੋਟਿੰਗ ਦੀ ਤਿਆਰੀ ਲਈ ਅੰਦਰੂਨੀ ਅਤੇ ਬਾਹਰੀ ਰਿੰਗਾਂ ਨੂੰ ਰੱਖਣ ਲਈ ਸਮਰਪਿਤ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਡ ਰੇਡੀਓ ਫ੍ਰੀਕੁਐਂਸੀ ਡਿਵਾਈਸ 11.36MHz ਦੀ ਰੇਡੀਓ ਫ੍ਰੀਕੁਐਂਸੀ ਸਰੋਤ ਫ੍ਰੀਕੁਐਂਸੀ, 2 ~ 3kV ਦਾ ਟਾਰਗੇਟ ਵੋਲਟੇਜ, 12kW ਦੀ ਕੁੱਲ ਪਾਵਰ, 0.008T ਦੀ ਚੁੰਬਕੀ ਇੰਡਕਸ਼ਨ ਤਾਕਤ ਦੀ ਕਾਰਜਸ਼ੀਲ ਰੇਂਜ, ਵੈਕਿਊਮ ਚੈਂਬਰ ਵੈਕਿਊਮ ਦੀ ਸੀਮਾ 6.5X10-4Pa ਹੈ। ਉੱਚ ਅਤੇ ਘੱਟ ਜਮ੍ਹਾ ਦਰ। ਇਸ ਤੋਂ ਇਲਾਵਾ, RF ਸਪਟਰਿੰਗ ਪਾਵਰ ਉਪਯੋਗਤਾ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਘੱਟ ਹੈ, ਅਤੇ ਵੱਡੀ ਮਾਤਰਾ ਵਿੱਚ ਬਿਜਲੀ ਗਰਮੀ ਵਿੱਚ ਬਦਲ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਜੋ ਕਿ ਟੀਚੇ ਦੇ ਠੰਢੇ ਪਾਣੀ ਤੋਂ ਖਤਮ ਹੋ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।
-ਇਹ ਲੇਖ ਇਸ ਦੁਆਰਾ ਪ੍ਰਕਾਸ਼ਿਤ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈਵੈਕਿਊਮ ਕੋਟਿੰਗ ਮਸ਼ੀਨ ਨਿਰਮਾਤਾਗੁਆਂਗਡੋਂਗ ਜ਼ੇਨਹੂਆ
ਪੋਸਟ ਸਮਾਂ: ਦਸੰਬਰ-21-2023