ଉ. ଉଚ୍ଚ ସ୍ପୁଟରିଂ ହାର। ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, SiO2 ସ୍ପୁଟରିଂ ସମୟରେ, ଜମା ହାର 200nm/ମିନିଟ୍ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ହୋଇପାରେ, ସାଧାରଣତଃ 10~100nm/ମିନିଟ୍ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ।
ଏବଂ ଫିଲ୍ମ ଗଠନର ହାର ଉଚ୍ଚ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ଶକ୍ତି ସହିତ ସିଧାସଳଖ ସମାନୁପାତିକ।
B. ଫିଲ୍ମ ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ମଧ୍ୟରେ ଆବଦ୍ଧତା ଫିଲ୍ମ ସ୍ତରର ଭାକ୍ୟୁମ୍ ବାଷ୍ପ ଜମା ଅପେକ୍ଷା ଅଧିକ। ଏହା ଘଟନା ପରମାଣୁର ଶରୀର ସହିତ ଆଧାରର ହାରାହାରି ଗତିଜ ଶକ୍ତି ପ୍ରାୟ 10eV ହେତୁ ହୋଇଥାଏ, ଏବଂ ପ୍ଲାଜମା ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ରେ କଠୋର ସ୍ପଟରିଂ ସଫା କରାଯିବ ଯାହା ଫଳରେ ଝିଲ୍ଲୀ ସ୍ତରରେ କମ୍ ପିନ୍ହୋଲ୍, ଉଚ୍ଚ ବିଶୁଦ୍ଧତା, ଘନ ଝିଲ୍ଲୀ ସ୍ତର ହେବ।
C. ଧାତୁ କିମ୍ବା ଅଣଧାତୁ କିମ୍ବା ଯୌଗିକ, ମେମ୍ବ୍ରାନ ସାମଗ୍ରୀର ବ୍ୟାପକ ଅନୁକୂଳନଶୀଳତା, ପ୍ରାୟ ସମସ୍ତ ସାମଗ୍ରୀକୁ ଏକ ଗୋଲ ପ୍ଲେଟରେ ପ୍ରସ୍ତୁତ କରାଯାଇପାରିବ, ଦୀର୍ଘ ସମୟ ପାଇଁ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ।
ଘ. ସବଷ୍ଟ୍ରେଟର ଆକୃତି ପାଇଁ ଆବଶ୍ୟକତାଗୁଡ଼ିକ କଷ୍ଟକର ନୁହେଁ। ସବଷ୍ଟ୍ରେଟର ଅସମାନ ପୃଷ୍ଠ କିମ୍ବା 1 ମିମି ରୁ କମ୍ ପ୍ରସ୍ଥ ବିଶିଷ୍ଟ ଛୋଟ ଫାଟଗୁଡ଼ିକର ଅସ୍ତିତ୍ୱକୁ ମଧ୍ୟ ଏକ ଫିଲ୍ମରେ ଛିଞ୍ଚାଯାଇପାରିବ।
ରେଡିଓ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ସ୍ପଟରିଂ ଆବରଣର ପ୍ରୟୋଗ ଉପରୋକ୍ତ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡ଼ିକ ଉପରେ ଆଧାର କରି, ରେଡିଓ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ସ୍ପଟରିଂ ଦ୍ୱାରା ଜମା ହୋଇଥିବା ଆବରଣ ବର୍ତ୍ତମାନ ଅଧିକ ବ୍ୟବହୃତ ହେଉଛି, ବିଶେଷକରି ସମନ୍ୱିତ ସର୍କିଟ୍ ଏବଂ ଡାଇଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ଫଙ୍କସନ୍ ଫିଲ୍ମ ପ୍ରସ୍ତୁତିରେ ବିଶେଷ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହେଉଛି। ଉଦାହରଣ ସ୍ୱରୂପ, RF ସ୍ପଟରିଂ ଦ୍ୱାରା ଜମା ହୋଇଥିବା ଅଣ-ପରିବାହୀ ଏବଂ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ସାମଗ୍ରୀ, ଯେଉଁଥିରେ ଉପାଦାନଗୁଡ଼ିକ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ: ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ Si ଏବଂ Ge, ଯୌଗିକ ସାମଗ୍ରୀ GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ SiC, ଫେରୋଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ଯୌଗିକ B14T3O12, ଗ୍ୟାସିଫିକେସନ୍ ବସ୍ତୁ ସାମଗ୍ରୀ In2Os, SiO2, Al203, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, କାଚ, ପ୍ଲାଷ୍ଟିକ୍, ଇତ୍ୟାଦି।
ଯଦି ଆବରଣ ଚାମ୍ବରରେ ଅନେକ ଟାର୍ଗେଟ୍ ରଖାଯାଇଛି, ତେବେ ଏକ ସମୟରେ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ନଷ୍ଟ ନକରି ସମାନ ଚାମ୍ବରରେ ବହୁ-ସ୍ତର ଫିଲ୍ମ ପ୍ରସ୍ତୁତି ସମାପ୍ତ କରିବା ମଧ୍ୟ ସମ୍ଭବ। ଡାଇସଲଫାଇଡ୍ ଆବରଣ ପ୍ରସ୍ତୁତି ପାଇଁ ଭିତର ଏବଂ ବାହ୍ୟ ରିଙ୍ଗ୍ ବହନ କରିବା ପାଇଁ ଉତ୍ସର୍ଗୀକୃତ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ରେଡିଓ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ଡିଭାଇସ୍ ହେଉଛି ରେଡିଓ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସି ସୋର୍ସ ଫ୍ରିକ୍ୱେନ୍ସିରେ ବ୍ୟବହୃତ ଉପକରଣର ଏକ ଉଦାହରଣ। ଏହାର ଆବୃତ୍ତି 11.36MHz, ଟାର୍ଗେଟ ଭୋଲଟେଜ୍ 2 ~ 3kV, ମୋଟ ଶକ୍ତି 12kW, ଚୁମ୍ବକୀୟ ପ୍ରେରଣା ଶକ୍ତିର କାର୍ଯ୍ୟ ପରିସର 0.008T, ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବର ଭାକ୍ୟୁମ୍ ସୀମା 6.5X10-4Pa। ଉଚ୍ଚ ଏବଂ ନିମ୍ନ ଜମା ହାର। ଅଧିକନ୍ତୁ, RF ସ୍ପଟରିଂ ଶକ୍ତି ବ୍ୟବହାର ଦକ୍ଷତା କମ୍, ଏବଂ ବହୁ ପରିମାଣର ଶକ୍ତି ତାପରେ ପରିବର୍ତ୍ତିତ ହୁଏ, ଯାହା ଟାର୍ଗେଟର ଶୀତଳ ପାଣିରୁ ନଷ୍ଟ ହୋଇଯାଏ।
–ଏହି ଲେଖାଟି ପ୍ରକାଶିତ ହୋଇଛିଭାକ୍ୟୁମ୍ କୋଟିଂ ମେସିନ୍ ନିର୍ମାତାଗୁଆଙ୍ଗଡଙ୍ଗ ଜେନହୁଆ |
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଡିସେମ୍ବର-୨୧-୨୦୨୩