A. उच्च स्पटरिङ दर। उदाहरणका लागि, SiO2 स्पटरिङ गर्दा, निक्षेपण दर २००nm/मिनेट सम्म हुन सक्छ, सामान्यतया १०~१००nm/मिनेट सम्म।
र फिल्म निर्माणको दर उच्च आवृत्ति शक्तिसँग प्रत्यक्ष समानुपातिक हुन्छ।
B. फिल्म र सब्सट्रेट बीचको आसंजन फिल्म तहको भ्याकुम वाष्प निक्षेपण भन्दा बढी छ। यो घटना परमाणुको शरीरमा आधारको औसत गतिज ऊर्जा लगभग 10eV को कारणले हो, र प्लाज्मा सब्सट्रेटमा कडा स्पटरिंग सफाई गरिनेछ जसको परिणामस्वरूप झिल्ली तहमा कम पिनहोलहरू, उच्च शुद्धता, बाक्लो झिल्ली तह हुनेछ।
C. झिल्ली सामग्रीको व्यापक अनुकूलन क्षमता, चाहे धातु होस् वा गैर-धातु वा यौगिकहरू, लगभग सबै सामग्रीहरूलाई गोलो प्लेटमा तयार गर्न सकिन्छ, लामो समयसम्म प्रयोग गर्न सकिन्छ।
D. सब्सट्रेटको आकारको लागि आवश्यकताहरू माग गर्ने खालका छैनन्। सब्सट्रेटको असमान सतह वा १ मिमी भन्दा कम चौडाइ भएका साना स्लिटहरूको अस्तित्वलाई पनि फिल्ममा छर्कन सकिन्छ।
रेडियो फ्रिक्वेन्सी स्पटरिङ कोटिंगको प्रयोग माथिका विशेषताहरूको आधारमा, रेडियो फ्रिक्वेन्सी स्पटरिङद्वारा जम्मा गरिएको कोटिंग हाल व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ, विशेष गरी एकीकृत सर्किट र डाइइलेक्ट्रिक फंक्शन फिल्मको तयारीमा विशेष गरी व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ। उदाहरणका लागि, RF स्पटरिङद्वारा जम्मा गरिएका गैर-कन्डक्टर र अर्धचालक सामग्रीहरू, जसमा तत्वहरू समावेश छन्: अर्धचालक Si र Ge, यौगिक सामग्री GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, उच्च-तापमान अर्धचालक SiC, फेरोइलेक्ट्रिक यौगिकहरू B14T3O12, ग्यासिफिकेशन वस्तु सामग्रीहरू In2Os, SiO2, Al203, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, गिलास, प्लास्टिक, आदि।
यदि कोटिंग चेम्बरमा धेरै लक्ष्यहरू राखिएका छन् भने, एकै पटकमा भ्याकुमलाई नष्ट नगरी एउटै चेम्बरमा बहु-तह फिल्मको तयारी पूरा गर्न पनि सम्भव छ। डाइसल्फाइड कोटिंगको तयारीको लागि भित्री र बाहिरी रिंगहरू बेयरिङको लागि समर्पित इलेक्ट्रोड रेडियो फ्रिक्वेन्सी उपकरण रेडियो फ्रिक्वेन्सी स्रोत फ्रिक्वेन्सीमा प्रयोग हुने उपकरणहरूको उदाहरण हो। ११.३६ मेगाहर्ट्जको फ्रिक्वेन्सी, २ ~ ३ केभीको लक्ष्य भोल्टेज, १२ किलोवाटको कुल पावर, ०.००८ टीको चुम्बकीय प्रेरण शक्तिको कार्य दायरा, भ्याकुम चेम्बर भ्याकुमको सीमा ६.५X१०-४ पा छ। उच्च र कम निक्षेप दर। यसबाहेक, आरएफ स्पटरिङ पावर उपयोग दक्षता कम छ, र ठूलो मात्रामा शक्ति तापमा रूपान्तरण हुन्छ, जुन लक्ष्यको चिसो पानीबाट हराउँछ।
- यो लेख प्रकाशित गरिएको होभ्याकुम कोटिंग मेसिन निर्मातागुआंग्डोंग Zhenhua
पोस्ट समय: डिसेम्बर-२१-२०२३