अ. उच्च थुंकण्याचा दर. उदाहरणार्थ, SiO2 थुंकताना, जमा होण्याचा दर २००nm/मिनिट पर्यंत असू शकतो, सामान्यतः १०~१००nm/मिनिट पर्यंत.
आणि फिल्म निर्मितीचा दर उच्च वारंवारता शक्तीच्या थेट प्रमाणात असतो.
B. फिल्म आणि सब्सट्रेटमधील आसंजन फिल्म लेयरच्या व्हॅक्यूम वाष्प निक्षेपणापेक्षा जास्त आहे. हे घटनेच्या अणूच्या शरीराशी असलेल्या बेसची सरासरी गतिज ऊर्जा सुमारे 10eV असल्यामुळे होते आणि प्लाझ्मा सब्सट्रेटमध्ये कठोर स्पटरिंग क्लीनिंग केले जाईल ज्यामुळे मेम्ब्रेन लेयरमध्ये कमी पिनहोल, उच्च शुद्धता, दाट मेम्ब्रेन लेयर निर्माण होईल.
क. मेम्ब्रेन मटेरियलची विस्तृत अनुकूलता, धातू असो वा धातू नसलेले किंवा संयुगे, जवळजवळ सर्व मटेरियल गोल प्लेटमध्ये तयार करता येतात, दीर्घकाळ वापरता येतात.
ड. सब्सट्रेटच्या आकाराच्या आवश्यकता कठीण नाहीत. सब्सट्रेटची असमान पृष्ठभाग किंवा १ मिमी पेक्षा कमी रुंदीच्या लहान स्लिटचे अस्तित्व देखील फिल्ममध्ये टाकले जाऊ शकते.
रेडिओ फ्रिक्वेन्सी स्पटरिंग कोटिंगचा वापर वरील वैशिष्ट्यांवर आधारित, रेडिओ फ्रिक्वेन्सी स्पटरिंगद्वारे जमा केलेले कोटिंग सध्या अधिक प्रमाणात वापरले जाते, विशेषतः एकात्मिक सर्किट आणि डायलेक्ट्रिक फंक्शन फिल्म तयार करण्यासाठी विशेषतः मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाते. उदाहरणार्थ, RF स्पटरिंगद्वारे जमा केलेले नॉन-कंडक्टर आणि सेमीकंडक्टर मटेरियल, ज्यामध्ये घटकांचा समावेश आहे: सेमीकंडक्टर Si आणि Ge, कंपाऊंड मटेरियल GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, उच्च-तापमान सेमीकंडक्टर SiC, फेरोइलेक्ट्रिक कंपाऊंड B14T3O12, गॅसिफिकेशन ऑब्जेक्ट मटेरियल In2Os, SiO2, Al203, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, काच, प्लास्टिक इ.
जर कोटिंग चेंबरमध्ये अनेक लक्ष्य ठेवले असतील, तर एकाच वेळी व्हॅक्यूम नष्ट न करता एकाच चेंबरमध्ये मल्टी-लेयर फिल्म तयार करणे देखील शक्य आहे. डायसल्फाइड कोटिंग तयार करण्यासाठी आतील आणि बाहेरील रिंग्ज बेअर करण्यासाठी समर्पित इलेक्ट्रोड रेडिओ फ्रिक्वेन्सी डिव्हाइस हे रेडिओ फ्रिक्वेन्सी सोर्स फ्रिक्वेन्सीमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या उपकरणांचे उदाहरण आहे. वारंवारता 11.36MHz, लक्ष्य व्होल्टेज 2 ~ 3kV, एकूण शक्ती 12kW, चुंबकीय प्रेरण शक्तीची कार्य श्रेणी 0.008T, व्हॅक्यूम चेंबर व्हॅक्यूमची मर्यादा 6.5X10-4Pa आहे. उच्च आणि कमी निक्षेप दर. शिवाय, RF स्पटरिंग पॉवर वापर कार्यक्षमता कमी आहे आणि मोठ्या प्रमाणात शक्ती उष्णतेमध्ये रूपांतरित होते, जी लक्ष्याच्या थंड पाण्यापासून नष्ट होते.
- हा लेख प्रकाशित केला आहेव्हॅक्यूम कोटिंग मशीन निर्माताग्वांगडोंग झेन्हुआ
पोस्ट वेळ: डिसेंबर-२१-२०२३