RF цацах бүрхүүлийн үндсэн шинж чанарууд

A. Шүрших хурд өндөр. Жишээлбэл, SiO2 цацах үед тунадасны хурд 200нм/мин, ихэвчлэн 10~100нм/мин хүртэл байж болно.

Мөн кино үүсэх хурд нь өндөр давтамжийн чадалтай шууд пропорциональ байна.

B. Кино ба субстрат хоорондын наалдац нь хальсны давхаргын вакуум уурын хуримтлалаас их байна. Энэ нь ослын атомын биеийн үндсэн суурьтай холбоотой бөгөөд ойролцоогоор 10эВ орчим кинетик энергитэй байдаг ба плазмын субстрат нь хатуу шүршигчтэй цэвэрлэгээнд өртөж, мембраны давхаргад нүх багатай, өндөр цэвэршилттэй, нягт мембран давхарга үүсдэг.

C. Мембран материалын өргөн дасан зохицох чадвар, металл эсвэл металл бус эсвэл нэгдлүүд, бараг бүх материалыг дугуй хавтан болгон бэлтгэж, удаан хугацаанд хэрэглэж болно.

D. Субстратын хэлбэрт тавигдах шаардлага тийм ч өндөр шаардлага тавьдаггүй. Субстратын тэгш бус гадаргуу эсвэл 1 мм-ээс бага өргөнтэй жижиг ан цав байгаа тохиолдолд хальсанд цацаж болно.

Радио давтамж цацах бүрээсийг хэрэглэх Дээр дурдсан шинж чанаруудаас үзэхэд радио давтамж цацах замаар хуримтлагдсан бүрээсийг одоогийн байдлаар илүү өргөн ашиглаж байгаа бөгөөд ялангуяа нэгдсэн хэлхээг бэлтгэхэд диэлектрик функцтэй хальсыг өргөн ашиглаж байна. Жишээлбэл, RF-ийн цацралтаар хуримтлагдсан дамжуулагч бус болон хагас дамжуулагч материалууд, үүнд: хагас дамжуулагч Si ба Ge, нийлмэл материалууд GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, өндөр температурт хагас дамжуулагч SiC, төмөр цахилгааны нэгдлүүд B14T3O2, Al2O2, Al202, хий үүсгэх объект. Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, шил, хуванцар гэх мэт.

Хэрэв бүрэх камерт хэд хэдэн объект байрлуулсан бол вакуумыг нэг дор устгахгүйгээр нэг камерт олон давхаргат хальс бэлтгэх ажлыг дуусгах боломжтой. Дисульфидын бүрээсийг бэлтгэхэд зориулсан дотоод болон гадна цагирагт зориулсан тусгай электрод радио давтамжийн төхөөрөмж нь радио давтамжийн эх үүсвэрийн давтамж 11.36 МГц, зорилтот хүчдэл 2 ~ 3 кВ, нийт хүч 12 кВт, соронзон индукцийн хүч чадлын ажлын хүрээ 0.008 Т, вакуумын хязгаарт ашиглагддаг төхөөрөмжийн жишээ юм. 6.5X10-4Pa. өндөр ба бага хуримтлалын түвшин. Түүгээр ч зогсохгүй RF цацах эрчим хүчний ашиглалтын үр ашиг бага, их хэмжээний эрчим хүч нь зорилтот газрын хөргөлтийн уснаас алдагдах дулаан болж хувирдаг.

-Энэ нийтлэлийг гаргасанвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа