RF സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗിന്റെ പ്രധാന സവിശേഷതകൾ

എ. ഉയർന്ന സ്പട്ടറിംഗ് നിരക്ക്. ഉദാഹരണത്തിന്, SiO2 സ്പട്ടറിംഗ് ചെയ്യുമ്പോൾ, നിക്ഷേപ നിരക്ക് 200nm/min വരെയാകാം, സാധാരണയായി 10~100nm/min വരെയാകാം.

ഫിലിം രൂപീകരണ നിരക്ക് ഉയർന്ന ഫ്രീക്വൻസി പവറിന് നേർ അനുപാതത്തിലാണ്.

B. ഫിലിമിനും സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റിനും ഇടയിലുള്ള അഡീഷൻ ഫിലിം ലെയറിന്റെ വാക്വം നീരാവി നിക്ഷേപത്തേക്കാൾ കൂടുതലാണ്. സംഭവ ആറ്റത്തിന്റെ ശരീരത്തിലേക്കുള്ള അടിത്തറയുടെ ശരാശരി ഗതികോർജ്ജം ഏകദേശം 10eV ആയതിനാലാണിത്, കൂടാതെ പ്ലാസ്മ സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റിൽ കർശനമായ സ്‌പട്ടറിംഗ് ക്ലീനിംഗിന് വിധേയമാക്കപ്പെടും, അതിന്റെ ഫലമായി മെംബ്രൺ പാളിയിൽ പിൻഹോളുകൾ കുറയും, ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയും, ഇടതൂർന്ന മെംബ്രൺ പാളിയും ഉണ്ടാകും.

സി. മെംബ്രൻ മെറ്റീരിയലിന്റെ വ്യാപകമായ പൊരുത്തപ്പെടുത്തൽ, ലോഹമോ അലോഹമോ അല്ലെങ്കിൽ സംയുക്തങ്ങളോ ആകട്ടെ, മിക്കവാറും എല്ലാ വസ്തുക്കളും ഒരു വൃത്താകൃതിയിലുള്ള പ്ലേറ്റിൽ തയ്യാറാക്കാം, വളരെക്കാലം ഉപയോഗിക്കാം.

D. അടിവസ്ത്രത്തിന്റെ ആകൃതിക്ക് ആവശ്യകതകൾ ആവശ്യപ്പെടുന്നവയല്ല. അടിവസ്ത്രത്തിന്റെ അസമമായ ഉപരിതലമോ 1 മില്ലീമീറ്ററിൽ താഴെ വീതിയുള്ള ചെറിയ സ്ലിറ്റുകളുടെ നിലനിൽപ്പോ ഒരു ഫിലിമിലേക്ക് തുളച്ചുകയറാൻ കഴിയും.

മുകളിൽ പറഞ്ഞ സ്വഭാവസവിശേഷതകളെ അടിസ്ഥാനമാക്കി, റേഡിയോ ഫ്രീക്വൻസി സ്പട്ടറിംഗ് വഴി നിക്ഷേപിക്കുന്ന കോട്ടിംഗ് നിലവിൽ കൂടുതൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു, പ്രത്യേകിച്ച് ഇന്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകളുടെയും ഡൈഇലക്ട്രിക് ഫംഗ്ഷൻ ഫിലിം തയ്യാറാക്കുന്നതിൽ. ഉദാഹരണത്തിന്, RF സ്പട്ടറിംഗ് വഴി നിക്ഷേപിക്കുന്ന നോൺ-കണ്ടക്ടർ, സെമികണ്ടക്ടർ വസ്തുക്കൾ, ഘടകങ്ങൾ ഉൾപ്പെടെ: അർദ്ധചാലക Si, Ge, സംയുക്ത വസ്തുക്കൾ GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, ഉയർന്ന താപനിലയുള്ള അർദ്ധചാലകങ്ങൾ SiC, ഫെറോഇലക്ട്രിക് സംയുക്തങ്ങൾ B14T3O12, ഗ്യാസിഫിക്കേഷൻ ഒബ്ജക്റ്റ് മെറ്റീരിയലുകൾ In2Os, SiO2, Al203, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, ഗ്ലാസ്, പ്ലാസ്റ്റിക് മുതലായവ.

കോട്ടിംഗ് ചേമ്പറിൽ നിരവധി ലക്ഷ്യങ്ങൾ സ്ഥാപിച്ചിട്ടുണ്ടെങ്കിൽ, ഒരേ സമയം വാക്വം നശിപ്പിക്കാതെ ഒരേ ചേമ്പറിൽ മൾട്ടി-ലെയർ ഫിലിം തയ്യാറാക്കൽ പൂർത്തിയാക്കാനും കഴിയും. ഡൈസൾഫൈഡ് കോട്ടിംഗ് തയ്യാറാക്കുന്നതിനായി അകത്തെയും പുറത്തെയും വളയങ്ങൾ വഹിക്കുന്നതിനായുള്ള സമർപ്പിത ഇലക്ട്രോഡ് റേഡിയോ ഫ്രീക്വൻസി ഉപകരണം, റേഡിയോ ഫ്രീക്വൻസി സോഴ്‌സ് ഫ്രീക്വൻസിയിൽ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഉപകരണങ്ങളുടെ ഒരു ഉദാഹരണമാണ് 11.36MHz, ടാർഗെറ്റ് വോൾട്ടേജ് 2 ~ 3kV, മൊത്തം പവർ 12kW, മാഗ്നറ്റിക് ഇൻഡക്ഷൻ ശക്തിയുടെ പ്രവർത്തന ശ്രേണി 0.008T, വാക്വം ചേമ്പർ വാക്വമിന്റെ പരിധി 6.5X10-4Pa. ഉയർന്നതും താഴ്ന്നതുമായ നിക്ഷേപ നിരക്ക്. മാത്രമല്ല, RF സ്പട്ടറിംഗ് പവർ ഉപയോഗക്ഷമത കുറവാണ്, കൂടാതെ വലിയ അളവിലുള്ള വൈദ്യുതി താപമായി പരിവർത്തനം ചെയ്യപ്പെടുന്നു, ഇത് ലക്ഷ്യത്തിന്റെ തണുപ്പിക്കൽ വെള്ളത്തിൽ നിന്ന് നഷ്ടപ്പെടുന്നു.

–ഈ ലേഖനം പ്രസിദ്ധീകരിച്ചത്വാക്വം കോട്ടിംഗ് മെഷീൻ നിർമ്മാതാവ്ഗുവാങ്‌ഡോംഗ് ഷെൻഹുവ