Облогата со извор на отпорна испарување е основен метод на обложување со вакуумска испарување. „Испарување“ се однесува на метод на подготовка на тенок филм во кој материјалот за обложување во вакуумската комора се загрева и испарува, така што атомите или молекулите на материјалот испаруваат и излегуваат од површината, формирајќи феномен на проток на пареа, кој паѓа на површината на подлогата или подлогата и конечно кондензира за да формира цврст филм.
Таканаречениот метод на обложување со отпорно испарување на изворот е со употреба на тантал, молибден, волфрам и други метали со висока точка на топење за да се направи соодветен облик на изворот на испарување, кој е полн со материјали што треба да се испарат, се пушта воздух да тече низ нив, директно се загреваат и испаруваат испарените материјали или се ставаат материјалите што треба да се испарат во алуминиум оксид, берилиум оксид и други садови за индиректно загревање и испарување. Ова е метод на испарување со отпорно греење.
Намашина за вакуумско испарување за обложувањеЗагреаните и испарувачките со отпорен грејач имаат предности како едноставна структура, ниска цена и сигурна употреба. Може да се користат за испарувачко премачкување на материјали со ниска точка на топење, особено за масовно производство со ниски барања за квалитет на премачкување. Досега, сè уште има голем број процеси на премачкување со отпорно греење и испарување кои се користат во производството на алуминизирани огледала.
Недостатоците на методот на обложување со испарување со отпорен извор на испарување се тоа што максималната температура што може да се постигне со загревање е ограничена, а и работниот век на грејачот е краток. Во последниве години, со цел да се подобри животниот век на отпорниот извор на испарување, фабриката за опрема го усвои спроводливиот керамички материјал синтетизиран од бор нитрид со долг век на траење како извор на испарување. Според извештајот за јапонски патент, може да се користат материјали составени од 20%~30% бор нитрид и огноотпорни материјали што можат да се споат со него за да се направи изворот на испарување (огноотпорен сад), и да се премачка неговата површина со слој од циркониум што содржи 62%~82%, а остатокот се материјали од легури на циркониум-силициум.
Време на објавување: 22 април 2023 година

