A. Ny tahan'ny sputtering avo. Ohatra, rehefa sputtering SiO2, ny tahan'ny deposition mety ho hatramin'ny 200nm/min, matetika hatramin'ny 10 ~ 100nm/min.
Ary ny tahan'ny fananganana sarimihetsika dia mifanandrify mivantana amin'ny hery avo lenta.
B. Ny adhesion eo amin'ny sarimihetsika sy ny substrate dia lehibe noho ny vacuum etona deposition ny sarimihetsika sosona. Izany dia noho ny fototra ho amin'ny vatana ny zava-nitranga atoma eo ho eo ny angovo kinetika eo ho eo 10eV, ary ao amin'ny ranon-dra substrate dia iharan'ny sputtering fanadiovana henjana mahatonga ny kely kokoa pinholes ao amin'ny fonontselan'ny sosona, madio ambony, matevina manify sosona.
C.Wide adaptability ny fitaovana fonontselan'ny, na metaly na tsy metaly na kaontinanta, saika ny fitaovana rehetra dia azo omanina amin'ny takelaka boribory, azo ampiasaina mandritra ny fotoana maharitra.
D. Ny fepetra takiana amin'ny endriky ny substrate dia tsy mitaky. Ny velaran'ny substrate tsy mitovy na ny fisian'ny slits kely misy sakan'ny latsaky ny 1mm dia azo apetraka ao anaty sarimihetsika ihany koa.
Fampiharana ny onjam-peo sputtering coating Miorina amin'ny toetra voalaza etsy ambony, ny coating napetraka amin'ny onjam-peo sputtering matetika kokoa ampiasaina amin'izao fotoana izao, indrindra amin'ny fanomanana ny Integrated circuits sy dielectric asa sarimihetsika no tena be mpampiasa. Ohatra, ny fitaovana tsy conducteur sy semiconductor apetraka amin'ny RF sputtering, ao anatin'izany ny singa: semiconductor Si sy Ge, akora mitambatra GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, semiconductor SiC, ferroelectric compounds B14T3O12, fitaovana ferroelectric B14T3O12, zavatra entona InSb. Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, fitaratra, plastika, sns.
Raha lasibatra maromaro no apetraka ao amin'ny efi-trano coating, dia azo atao ihany koa ny mamita ny fanomanana ny multi-sosona sarimihetsika ao amin'ny efitra iray ihany nefa tsy manimba ny banga indray mandeha. Natokana electrode onjam-peo fitaovana ho an'ny mitondra anatiny sy ivelany peratra ho an'ny fanomanana ny disulfide coating dia ohatra ny fitaovana ampiasaina amin'ny onjam-peo matetika loharano matetika ny 11.36MHz, kendrena malefaka ny 2 ~ 3kV, ny totalin'ny hery ny 12kW, ny miasa isan-karazany ny andriamby induction hery ny 0.008T, ny fetran'ny vacuum 6Pax 0.008T, ny fetran'ny vacuum 6.5X. avo sy ambany tahan'ny fametrahana. Ambonin'izany, ny fahombiazan'ny fampiasana herinaratra RF sputtering dia ambany, ary hery be dia be no niova ho hafanana, izay very avy amin'ny rano mangatsiakan'ny kendrena.
– Ity lahatsoratra ity dia navoakan'nyVacuum coating mpanamboatra milinaGuangdong Zhenhua
Fotoana fandefasana: Dec-21-2023