A. Augsts izsmidzināšanas ātrums. Piemēram, izsmidzināšanas laikā SiO2 nogulsnēšanās ātrums var sasniegt 200 nm/min, parasti līdz 10–100 nm/min.
Un plēves veidošanās ātrums ir tieši proporcionāls augstfrekvences jaudai.
B. Plēves un substrāta saķere ir lielāka nekā plēves slāņa vakuuma tvaiku uzklāšanas procesā. Tas ir saistīts ar pamatnes un krītošā atoma vidējo kinētisko enerģiju aptuveni 10 eV, un plazmā substrāts tiks pakļauts stingrai izsmidzināšanas tīrīšanai, kā rezultātā membrānas slānī būs mazāk caurumiņu, augsta tīrības pakāpe un blīvs membrānas slānis.
C. Membrānas materiāla plaša pielāgošanās spēja, gan metāla, gan nemetāla, gan savienojumu veidā, gandrīz visus materiālus var sagatavot apaļā plāksnē, un tos var izmantot ilgu laiku.
D. Prasības attiecībā uz substrāta formu nav stingras. Plēvē var uzsmidzināt arī nelīdzenu substrāta virsmu vai mazu spraugu esamību, kuru platums ir mazāks par 1 mm.
Radiofrekvenču izsmidzināšanas pārklājuma pielietojums Pamatojoties uz iepriekš minētajām īpašībām, ar radiofrekvenču izsmidzināšanu uzklātais pārklājums pašlaik tiek plašāk izmantots, īpaši integrēto shēmu izgatavošanā, un īpaši plaši tiek izmantota dielektrisko funkciju plēve. Piemēram, ar RF izsmidzināšanu uzklātie nevadoši un pusvadītāju materiāli, tostarp elementi: pusvadītājs Si un Ge, salikti materiāli GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, augstas temperatūras pusvadītāji SiC, feroelektriskie savienojumi B14T3O12, gazifikācijas objektu materiāli In2Os, SiO2, Al203, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, stikls, plastmasa u.c.
Ja pārklāšanas kamerā ievieto vairākus mērķus, ir iespējams veikt daudzslāņu plēves sagatavošanu vienā kamerā, vienlaikus neizjaucot vakuumu. Disulfīda pārklājuma sagatavošanai paredzēta radiofrekvences ierīce gultņu iekšējiem un ārējiem gredzeniem ir piemērs iekārtai, ko izmanto radiofrekvences avota frekvence 11,36 MHz, mērķa spriegums 2 ~ 3 kV, kopējā jauda 12 kW, magnētiskās indukcijas stipruma darba diapazons 0,008 T, vakuuma kameras vakuuma robeža ir 6,5 x 10-4 Pa. Augsts un zems nogulsnēšanas ātrums. Turklāt RF izsmidzināšanas jaudas izmantošanas efektivitāte ir zema, un liels enerģijas daudzums tiek pārvērsts siltumā, kas tiek zaudēts no mērķa dzesēšanas ūdens.
– Šo rakstu publicēvakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājsGuandunas Dženhua
Publicēšanas laiks: 2023. gada 21. decembris