A. Didelis dulkinimo greitis. Pavyzdžiui, dulkinant SiO2, nusodinimo greitis gali siekti iki 200 nm/min., paprastai iki 10–100 nm/min.
Ir plėvelės formavimo greitis yra tiesiogiai proporcingas aukšto dažnio galiai.
B. Plėvelės ir pagrindo sukibimas yra didesnis nei plėvelės sluoksnio vakuuminio garinimo būdu nusodinimo. Taip yra dėl to, kad pagrindo ir krintančio atomo vidutinė kinetinė energija yra apie 10 eV, o plazmoje substratas bus kruopščiai valomas dulkinimo būdu, todėl membranos sluoksnyje bus mažiau skylučių, membranos sluoksnis bus labai grynas ir tankus.
C. Platus membraninės medžiagos, metalinės, nemetalinės arba junginių, pritaikomumas, beveik visos medžiagos gali būti paruoštos į apvalią plokštę, gali būti naudojamos ilgą laiką.
D. Pagrindo formai keliami reikalavimai nėra griežti. Plėvelę taip pat galima užpurkšti, jei jos paviršius nelygus arba yra mažų, mažesnių nei 1 mm pločio, plyšių.
Radiodažnio dulkinimo dangos taikymas Remiantis minėtomis savybėmis, radijodažnio dulkinimo būdu nusodinta danga šiuo metu yra plačiau naudojama, ypač integrinių grandynų gamyboje, o dielektrinė funkcinė plėvelė yra ypač plačiai naudojama. Pavyzdžiui, radijodažnio dulkinimo būdu nusodinamos nelaidininkės ir puslaidininkinės medžiagos, įskaitant elementus: puslaidininkinius Si ir Ge, sudėtines medžiagas GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, aukštatemperatūrinius puslaidininkius SiC, feroelektrinius junginius B14T3O12, dujofikacijos objektų medžiagas In2Os, SiO2, Al203, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, stiklą, plastiką ir kt.
Jei dengimo kameroje dedami keli taikiniai, daugiasluoksnės plėvelės paruošimą galima atlikti toje pačioje kameroje, nesunaikinus vakuumo vienu metu. Įrangos, naudojamos disulfido dangos paruošimui, pavyzdys yra specialus elektrodų radijo dažnių įrenginys guolio vidiniam ir išoriniam žiedams, kuriame radijo dažnių šaltinio dažnis yra 11,36 MHz, taikinio įtampa 2–3 kV, bendra galia 12 kW, magnetinio indukcijos stiprio darbo diapazonas 0,008 T, vakuuminės kameros vakuumo riba yra 6,5 x 10⁻⁴Pa. Didelis ir mažas nusodinimo greitis. Be to, radijo dažnių purškimo energijos panaudojimo efektyvumas yra mažas, o didelis energijos kiekis paverčiamas šiluma, kuri prarandama iš taikinio aušinimo vandens.
– Šį straipsnį išleidovakuuminio dengimo mašinų gamintojasGuangdong Zhenhua
Įrašo laikas: 2023 m. gruodžio 21 d.