RF ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಲೇಪನದ ಮುಖ್ಯ ಲಕ್ಷಣಗಳು

A. ಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ಪಟರಿಂಗ್ ದರ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, SiO2 ಅನ್ನು ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಮಾಡುವಾಗ, ಶೇಖರಣಾ ದರವು 200nm/ನಿಮಿಷದವರೆಗೆ ಇರಬಹುದು, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 10~100nm/ನಿಮಿಷದವರೆಗೆ ಇರುತ್ತದೆ.

ಮತ್ತು ಫಿಲ್ಮ್ ರಚನೆಯ ದರವು ಹೆಚ್ಚಿನ ಆವರ್ತನ ಶಕ್ತಿಗೆ ನೇರವಾಗಿ ಅನುಪಾತದಲ್ಲಿರುತ್ತದೆ.

ಬಿ. ಫಿಲ್ಮ್ ಮತ್ತು ತಲಾಧಾರದ ನಡುವಿನ ಅಂಟಿಕೊಳ್ಳುವಿಕೆಯು ಫಿಲ್ಮ್ ಪದರದ ನಿರ್ವಾತ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಾಗಿರುತ್ತದೆ. ಇದು ಘಟನೆಯ ಪರಮಾಣುವಿನ ದೇಹಕ್ಕೆ ಬೇಸ್‌ನ ಸರಾಸರಿ ಚಲನ ಶಕ್ತಿಯು ಸುಮಾರು 10eV ಕಾರಣ, ಮತ್ತು ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ತಲಾಧಾರದಲ್ಲಿ ಕಟ್ಟುನಿಟ್ಟಾದ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆಗೆ ಒಳಪಡುತ್ತದೆ, ಇದರ ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ಪೊರೆಯ ಪದರದಲ್ಲಿ ಕಡಿಮೆ ಪಿನ್‌ಹೋಲ್‌ಗಳು, ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ, ದಟ್ಟವಾದ ಪೊರೆಯ ಪದರ ಉಂಟಾಗುತ್ತದೆ.

ಸಿ. ಲೋಹ ಅಥವಾ ಲೋಹೇತರ ಅಥವಾ ಸಂಯುಕ್ತಗಳ ಪೊರೆಯ ವಸ್ತುವಿನ ವ್ಯಾಪಕ ಹೊಂದಾಣಿಕೆ, ಬಹುತೇಕ ಎಲ್ಲಾ ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ದುಂಡಗಿನ ತಟ್ಟೆಯಲ್ಲಿ ತಯಾರಿಸಬಹುದು, ದೀರ್ಘಕಾಲದವರೆಗೆ ಬಳಸಬಹುದು.

D. ತಲಾಧಾರದ ಆಕಾರಕ್ಕೆ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳು ಬೇಡಿಕೆಯಿಲ್ಲ. ತಲಾಧಾರದ ಅಸಮ ಮೇಲ್ಮೈ ಅಥವಾ 1mm ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಅಗಲವಿರುವ ಸಣ್ಣ ಸೀಳುಗಳ ಅಸ್ತಿತ್ವವನ್ನು ಸಹ ಫಿಲ್ಮ್ ಆಗಿ ಸಿಂಪಡಿಸಬಹುದು.

ಮೇಲಿನ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳ ಆಧಾರದ ಮೇಲೆ, ರೇಡಿಯೋ ಫ್ರೀಕ್ವೆನ್ಸಿ ಸ್ಪಟರಿಂಗ್‌ನಿಂದ ಠೇವಣಿ ಮಾಡಲಾದ ಲೇಪನವನ್ನು ಪ್ರಸ್ತುತ ಹೆಚ್ಚು ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಡೈಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಫಂಕ್ಷನ್ ಫಿಲ್ಮ್ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ವಿಶೇಷವಾಗಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, RF ಸ್ಪಟರಿಂಗ್‌ನಿಂದ ಠೇವಣಿ ಮಾಡಲಾದ ವಾಹಕವಲ್ಲದ ಮತ್ತು ಅರೆವಾಹಕ ವಸ್ತುಗಳು, ಅಂಶಗಳನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಂತೆ: ಅರೆವಾಹಕ Si ಮತ್ತು Ge, ಸಂಯುಕ್ತ ವಸ್ತುಗಳು GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, ಅಧಿಕ-ತಾಪಮಾನದ ಅರೆವಾಹಕಗಳು SiC, ಫೆರೋಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಸಂಯುಕ್ತಗಳು B14T3O12, ಅನಿಲೀಕರಣ ವಸ್ತು ವಸ್ತುಗಳು In2Os, SiO2, Al203, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, ಗಾಜು, ಪ್ಲಾಸ್ಟಿಕ್, ಇತ್ಯಾದಿ.

ಲೇಪನ ಕೊಠಡಿಯಲ್ಲಿ ಹಲವಾರು ಗುರಿಗಳನ್ನು ಇರಿಸಿದರೆ, ಒಂದೇ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ನಿರ್ವಾತವನ್ನು ನಾಶಪಡಿಸದೆ ಒಂದೇ ಕೊಠಡಿಯಲ್ಲಿ ಬಹು-ಪದರದ ಫಿಲ್ಮ್ ತಯಾರಿಕೆಯನ್ನು ಪೂರ್ಣಗೊಳಿಸಲು ಸಹ ಸಾಧ್ಯವಿದೆ. ಡೈಸಲ್ಫೈಡ್ ಲೇಪನವನ್ನು ತಯಾರಿಸಲು ಒಳ ಮತ್ತು ಹೊರ ಉಂಗುರಗಳನ್ನು ಹೊಂದಲು ಮೀಸಲಾದ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಡ್ ರೇಡಿಯೋ ಆವರ್ತನ ಸಾಧನವು 11.36MHz ನ ರೇಡಿಯೋ ಆವರ್ತನ ಮೂಲ ಆವರ್ತನ, 2 ~ 3kV ನ ಗುರಿ ವೋಲ್ಟೇಜ್, 12kW ನ ಒಟ್ಟು ಶಕ್ತಿ, 0.008T ನ ಕಾಂತೀಯ ಇಂಡಕ್ಷನ್ ಬಲದ ಕೆಲಸದ ಶ್ರೇಣಿ, ನಿರ್ವಾತ ಕೊಠಡಿಯ ನಿರ್ವಾತದ ಮಿತಿ 6.5X10-4Pa ಆಗಿದೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಶೇಖರಣಾ ದರ. ಇದಲ್ಲದೆ, RF ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ವಿದ್ಯುತ್ ಬಳಕೆಯ ದಕ್ಷತೆಯು ಕಡಿಮೆಯಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಪ್ರಮಾಣದ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಶಾಖವಾಗಿ ಪರಿವರ್ತಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ಗುರಿಯ ತಂಪಾಗಿಸುವ ನೀರಿನಿಂದ ಕಳೆದುಹೋಗುತ್ತದೆ.

–ಈ ಲೇಖನವನ್ನು ಪ್ರಕಟಿಸಿದವರುನಿರ್ವಾತ ಲೇಪನ ಯಂತ್ರ ತಯಾರಕಗುವಾಂಗ್ಡಾಂಗ್ ಝೆನ್ಹುವಾ