ក. អត្រាប្រឡាក់ខ្ពស់។ ជាឧទាហរណ៍ នៅពេលបញ្ចេញសារធាតុ SiO2 អត្រានៃការដាក់ប្រាក់អាចឡើងដល់ 200nm/min ជាធម្មតារហូតដល់ 10~100nm/min។
ហើយអត្រានៃការបង្កើតខ្សែភាពយន្តគឺសមាមាត្រដោយផ្ទាល់ទៅនឹងថាមពលប្រេកង់ខ្ពស់។
ខ.ភាពស្អិតជាប់រវាងខ្សែភាពយន្ត និងស្រទាប់ខាងក្រោមគឺធំជាងការបំភាយចំហាយទឹកនៃស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត។ នេះគឺដោយសារតែមូលដ្ឋានទៅនឹងតួនៃឧបទ្ទវហេតុអាតូមថាមពល kinetic ជាមធ្យមប្រហែល 10eV ហើយនៅក្នុងស្រទាប់ខាងក្រោមប្លាស្មានឹងត្រូវទទួលរងការសម្អាតយ៉ាងតឹងរ៉ឹង ដែលបណ្តាលឱ្យមានរន្ធតិចនៅក្នុងស្រទាប់ភ្នាស ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ស្រទាប់ភ្នាសក្រាស់។
C. ការសម្របខ្លួនធំទូលាយនៃសម្ភារៈភ្នាសទាំងលោហៈឬមិនមែនលោហធាតុឬសមាសធាតុវត្ថុធាតុដើមស្ទើរតែទាំងអស់អាចត្រូវបានរៀបចំទៅជាចានរាងមូលអាចប្រើបានយូរ។
ឃ.តម្រូវការសម្រាប់រូបរាងនៃស្រទាប់ខាងក្រោមគឺមិនទាមទារ។ ផ្ទៃមិនស្មើគ្នានៃស្រទាប់ខាងក្រោម ឬអត្ថិភាពនៃរន្ធតូចៗដែលមានទទឹងតិចជាង 1mm ក៏អាចត្រូវបាន sputtered ចូលទៅក្នុងខ្សែភាពយន្តមួយ។
ការអនុវត្តនៃថ្នាំកូត sputtering ប្រេកង់វិទ្យុ ដោយផ្អែកលើលក្ខណៈខាងលើ ថ្នាំកូតដែលដាក់ដោយ sputtering ប្រេកង់វិទ្យុ បច្ចុប្បន្នត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយ ជាពិសេសក្នុងការរៀបចំសៀគ្វីរួមបញ្ចូលគ្នា និងខ្សែភាពយន្តមុខងារ dielectric ត្រូវបានប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយជាពិសេស។ ឧទាហរណ៍ វត្ថុធាតុមិនមែន conductor និង semiconductor ដែលដាក់ដោយ RF sputtering រួមមានធាតុ៖ semiconductor Si និង Ge សមា្ភារៈផ្សំ GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, high-temperature semiconductors SiC, ferroelectric compounds B14T3O12, gas Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, កញ្ចក់, ប្លាស្ទិក។ល។
ប្រសិនបើគោលដៅជាច្រើនត្រូវបានដាក់ក្នុងអង្គជំនុំជម្រះថ្នាំកូត វាក៏អាចធ្វើទៅបានផងដែរដើម្បីបញ្ចប់ការរៀបចំខ្សែភាពយន្តពហុស្រទាប់នៅក្នុងបន្ទប់តែមួយដោយមិនបំផ្លាញកន្លែងទំនេរក្នុងពេលតែមួយ។ ឧបករណ៍ប្រេកង់វិទ្យុអេឡិចត្រូតដែលត្រូវបានឧទ្ទិសសម្រាប់ផ្ទុកចិញ្ចៀនខាងក្នុងនិងខាងក្រៅសម្រាប់ការរៀបចំថ្នាំកូត disulfide គឺជាឧទាហរណ៍នៃឧបករណ៍ដែលប្រើក្នុងប្រេកង់ប្រភពវិទ្យុ 11.36MHz វ៉ុលគោលដៅ 2 ~ 3kV ថាមពលសរុប 12kW ជួរការងារនៃកម្លាំងអាំងឌុចស្យុងម៉ាញេទិកគឺ 0.008 មេហ្គាហឺត vacuum ដែនកំណត់។ 6.5X10-4Pa ។ អត្រាខ្ពស់និងទាប។ លើសពីនេះទៅទៀត ប្រសិទ្ធភាពនៃការប្រើប្រាស់ថាមពល RF sputtering មានកម្រិតទាប ហើយថាមពលមួយចំនួនធំត្រូវបានបំប្លែងទៅជាកំដៅ ដែលបាត់បង់ពីទឹកត្រជាក់នៃគោលដៅ។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនបូមធូលីក្វាងទុងហ្សេនហួ
ពេលវេលាផ្សាយ៖ ថ្ងៃទី ២១ ខែ ធ្នូ ឆ្នាំ ២០២៣