A. Жоғары шашырау жылдамдығы. Мысалы, SiO2 шашыратқанда тұндыру жылдамдығы 200 нм/мин, әдетте 10~100 нм/мин дейін болуы мүмкін.
Ал пленка түзілу жылдамдығы жоғары жиілікті қуатқа тура пропорционал.
B. Пленка мен субстрат арасындағы адгезия пленка қабатының вакуумдық бу тұндыруынан жоғары. Бұл шамамен 10эВ түскен атомның денесіне негіз болатын орташа кинетикалық энергияға байланысты, ал плазмалық субстратта қатаң шашыратқыш тазалауға ұшырайды, нәтижесінде мембраналық қабатта саңылаулар аз болады, жоғары тазалық, тығыз мембраналық қабат.
C. Мембраналық материалдың кең бейімділігі, металл немесе металл емес немесе қосылыстар, барлық дерлік материалдарды дөңгелек пластинаға дайындауға болады, ұзақ уақыт бойы пайдалануға болады.
D. Субстраттың пішініне қойылатын талаптар талап етілмейді. Субстраттың біркелкі емес беті немесе ені 1 мм-ден аз кішкене саңылаулардың болуы да пленкаға шашыратылуы мүмкін.
Радиожиілікті шашыратқыш жабынды қолдану Жоғарыда көрсетілген сипаттамаларға сүйене отырып, радиожиілік шашырату арқылы тұндырылған жабын қазіргі уақытта кеңірек қолданылады, әсіресе интегралды схемаларды дайындауда және диэлектрлік функционалды пленка әсіресе кеңінен қолданылады. Мысалы, РЖ шашырауымен тұндырылған өткізгіш емес және жартылай өткізгіш материалдар, оның ішінде элементтер: жартылай өткізгіш Si және Ge, құрама материалдар GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, жоғары температуралы жартылай өткізгіштер SiC, ферроэлектрлік қосылыстар B14T3O2O2, газдандыру объектісі Al, Al, Si202, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, шыны, пластик, т.б.
Егер қаптау камерасына бірнеше нысана қойылса, бір уақытта вакуумды бұзбай, бір камерада көп қабатты пленканы дайындауды аяқтауға болады. Дисульфидті жабынды дайындауға арналған мойынтіректердің ішкі және сыртқы сақиналарына арналған арнайы электродты радиожиілік құрылғысы радиожиілік көзінің жиілігі 11,36 МГц, мақсатты кернеуі 2 ~ 3 кВ, жалпы қуаты 12 кВт, магниттік индукциялық күштің жұмыс диапазоны 0,008 Т вакуумда қолданылатын жабдықтың мысалы болып табылады. 6,5X10-4Па. жоғары және төмен тұндыру жылдамдығы. Сонымен қатар, РЖ шашыратқыш қуатын пайдалану тиімділігі төмен және қуаттың көп мөлшері нысананың салқындатқыш суынан жоғалатын жылуға айналады.
– Бұл мақаланы шығарғанвакуумды қаптау машинасының өндірушісіГуандун Чжэнхуа
Жіберу уақыты: 21 желтоқсан 2023 ж