A. Tingkat sputtering dhuwur. Contone, nalika sputtering SiO2, tingkat deposisi bisa nganti 200nm / min, biasane nganti 10 ~ 100nm / min.
Lan tingkat tatanan film langsung ceceg karo daya frekuensi dhuwur.
B.The adhesion antarane film lan landasan luwih saka deposition beluk vakum saka lapisan film. Iki amarga basa kanggo awak saka atom kedadean energi kinetik rata-rata bab 10eV, lan ing landasan plasma bakal tundhuk reresik sputtering ketat asil ing pinholes kurang ing lapisan membran, kemurnian dhuwur, lapisan membran kandhel.
C.Wide adaptability saka materi membran, salah siji logam utawa non-logam utawa senyawa, meh kabeh bahan bisa disiapake menyang piring babak, bisa digunakake kanggo dangu.
D. Syarat kanggo wangun substrate ora nuntut. Lumahing substrat sing ora rata utawa anané celah-celah cilik kanthi jembaré kurang saka 1mm bisa uga sputtered menyang film.
Aplikasi lapisan sputtering frekuensi radio Adhedhasar karakteristik ing ndhuwur, lapisan sing disimpen dening sputtering frekuensi radio saiki luwih akeh digunakake, utamane ing nyiapake sirkuit terpadu lan film fungsi dielektrik utamane digunakake. Contone, bahan non-konduktor lan semikonduktor sing disimpen dening sputtering RF, kalebu unsur: semikonduktor Si lan Ge, bahan senyawa GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, semikonduktor suhu dhuwur, SiC, senyawa feroelektrik B14T3O12, bahan In2O2, gasifikasi. Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, kaca, plastik, lsp.
Yen sawetara target diselehake ing kamar nutupi, iku uga bisa kanggo ngrampungake preparation saka film multi-lapisan ing kamar padha tanpa numpes vakum ing siji wektu. Piranti frekuensi radio elektroda khusus kanggo bantalan dering njero lan njaba kanggo nyiapake lapisan disulfida minangka conto peralatan sing digunakake ing frekuensi sumber frekuensi radio 11.36MHz, voltase target 2 ~ 3kV, total daya 12kW, kisaran kerja kekuatan induksi magnetik 0.008T, watesan ruang vakum 6.5XPad. tingkat deposisi dhuwur lan kurang. Kajaba iku, efisiensi panggunaan daya RF sputtering kurang, lan akeh daya diowahi dadi panas, sing ilang saka banyu adhem target.
– Artikel iki dirilis deningpabrikan mesin lapisan vakumGuangdong Zhenhua
Wektu kirim: Dec-21-2023