Arco catodico a vuoto a ionicoating è abbreviato come arco a vuotocoattingendo. Se vengono utilizzate due o più sorgenti di evaporazione ad arco sotto vuoto (denominate sorgenti ad arco), si parla di ioni multi-arcocoting o multi arcocoting. Si tratta di una tecnologia di rivestimento ionico sotto vuoto che utilizza la scarica ad arco sotto vuoto come sorgente di evaporazione. A differenza dell'arco elettronico caldo della scarica a catodo cavo, la sua forma d'arco consiste nella formazione di punti di arco catodico sulla superficie del catodo freddo.
Le caratteristiche dell'arco ionico del catodo sotto vuotocole azioni sono:
(1) La sorgente di evaporazione è un bersaglio catodico solido, che genera plasma direttamente dalla sorgente bersaglio catodica senza la necessità di un bagno di fusione. La sorgente bersaglio ad arco può essere disposta in qualsiasi direzione e con più sorgenti per garantire un rivestimento uniforme.
(2) La struttura dell'apparecchiatura è relativamente semplice, senza la necessità di gas di lavoro o metodi di ionizzazione ausiliari. La sorgente bersaglio dell'arco non è solo una sorgente di evaporazione per il materiale catodico, ma anche una sorgente di ioni; durante la deposizione reattiva, è presente solo gas reattivo e l'atmosfera è controllata tramite un semplice controllo di pressione completa.
(3) Il tasso di ionizzazione è elevato, generalmente raggiungendo il 60%~80%, e il tasso di deposizione è elevato.
(4) L'energia degli ioni incidenti è elevata e la forza di legame film/substrato del film depositato è buona.
(5) Utilizzo di un alimentatore a bassa tensione per un funzionamento sicuro.
(6) Può depositare film metallici, film di leghe, reagire e sintetizzare vari film di composti (composti di ammoniaca, carburi, ossidi) e persino sintetizzare film di DLC, film di CN, ecc. Il suo svantaggio è che durante la deposizione, minuscole goccioline di liquido vengono spruzzate dalla superficie target, che condensano nello strato di film rivestito e ne aumentano la rugosità. Attualmente, sono stati studiati molti metodi efficaci per ridurre ed eliminare queste microgocce.
Ione ad arco sotto vuotocoLa tecnologia di rivestimento è stata ampiamente utilizzata per rivestire rivestimenti protettivi superduri per utensili e stampi. I sistemi di rivestimento includono TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al₂O₂, DLC, ecc. I prodotti di rivestimento includono utensili, stampi, ecc. Per quanto riguarda i rivestimenti protettivi decorativi a effetto oro e a colori, i sistemi di rivestimento includono TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, ecc. I sistemi di rivestimento a colori includono nero canna di fucile, nero, viola, marrone, blu, verde, grigio, ecc.
Ione multiarcocoL'applicazione è molto vasta e molto pratica, in particolare nel rivestimento di strati di pellicole dure decorative e resistenti all'usura sulle superfici di materiali quali utensili da taglio, stampi e piastre in acciaio inossidabile.
Data di pubblicazione: 17 agosto 2023