A. Hár spúttunarhraði. Til dæmis, þegar SiO2 er spúttað, getur útfellingarhraðinn verið allt að 200 nm/mín, venjulega allt að 10~100 nm/mín.
Og hraði filmumyndunar er í beinu hlutfalli við hátíðniaflið.
B. Viðloðunin milli filmunnar og undirlagsins er meiri en lofttæmisgufuútfelling filmulagsins. Þetta er vegna þess að meðalhreyfiorka grunnsins við innfallandi atóm er um 10 eV og undirlagið í plasma verður háð ströngum spúttunarhreinsun sem leiðir til færri nálarhola í himnulaginu, mikils hreinleika og þéttleika himnulagsins.
C. Breið aðlögunarhæfni himnuefnisins, hvort sem það er úr málmi eða málmlausum eða efnasamböndum, næstum öll efni er hægt að búa til hringlaga plötu, hægt að nota í langan tíma.
D. Kröfur um lögun undirlagsins eru ekki strangar. Einnig er hægt að sprauta filmu ef yfirborð undirlagsins er ójafnt eða ef litlar raufar eru minni en 1 mm á breidd.
Notkun á útvarpsbylgjuhúðun Byggt á ofangreindum eiginleikum er húðun sem sett er á með útvarpsbylgjuhúðun nú víðar notuð, sérstaklega við gerð samþættra hringrása og rafvirkjunarfilmu er sérstaklega mikið notuð. Til dæmis eru óleiðandi og hálfleiðarar sem settir eru á með útvarpsbylgjuhúðun, þar á meðal frumefni: hálfleiðarar Si og Ge, efnasambönd GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, háhita hálfleiðarar SiC, járnrafefnasambönd B14T3O12, gasmyndunarefni In2Os, SiO2, Al203, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, gler, plast o.s.frv.
Ef nokkur skotmörk eru sett í húðunarklefann er einnig mögulegt að ljúka undirbúningi marglaga filmu í sama hólfinu án þess að eyðileggja lofttæmið í einu. Sérstakt rafskautsbylgjutæki fyrir innri og ytri hringi til að undirbúa tvísúlfíðhúðun er dæmi um búnað sem notaður er í útvarpsbylgjugjafa með tíðni upp á 11,36 MHz, markspennu upp á 2 ~ 3 kV, heildarafl upp á 12 kW, segulmagnaða örvunarstyrk upp á 0,008 T og mörk lofttæmis í lofttæmisklefanum eru 6,5 x 10⁻⁴ Pa. Útfellingarhraði er mikill og lágur. Ennfremur er orkunýting RF-spúttunar lág og mikið magn af orku er breytt í hita sem tapast úr kælivatni skotmarksins.
–Þessi grein er gefin út afframleiðandi tómarúmhúðunarvélaGuangdong Zhenhua
Birtingartími: 21. des. 2023