A. Magas porlasztási sebesség. Például SiO2 porlasztásakor a lerakódási sebesség akár 200 nm/perc is lehet, általában 10–100 nm/perc.
És a filmképződés sebessége egyenesen arányos a nagyfrekvenciás teljesítménnyel.
B. A fólia és az aljzat közötti tapadás nagyobb, mint a fóliaréteg vákuumgőzleválasztása. Ez annak köszönhető, hogy az alap és a beeső atom teste közötti átlagos mozgási energia körülbelül 10 eV, és a plazmában az aljzat szigorú porlasztásos tisztításnak van kitéve, ami kevesebb tűszúrást eredményez a membránrétegben, nagy tisztaságú, sűrű membránréteget eredményez.
C. A membrán anyag széles alkalmazkodóképessége, legyen az fém, nemfém vagy vegyület, szinte minden anyagból kerek lemez készíthető, hosszú ideig használható.
D. Az aljzat alakjára vonatkozó követelmények nem szigorúak. Az aljzat egyenetlen felülete vagy 1 mm-nél kisebb szélességű rések megléte is porlasztható a fóliába.
Rádiófrekvenciás porlasztásos bevonat alkalmazása A fenti jellemzők alapján a rádiófrekvenciás porlasztással leválasztott bevonat jelenleg szélesebb körben elterjedt, különösen integrált áramkörök előállításában, és a dielektromos funkciójú filmek különösen elterjedtek. Például az RF porlasztással leválasztott nemvezető és félvezető anyagok, beleértve az elemeket: félvezető Si és Ge, összetett anyagok GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, magas hőmérsékletű félvezetők SiC, ferroelektromos vegyületek B14T3O12, elgázosító tárgyanyagok In2Os, SiO2, Al203, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, üveg, műanyag stb.
Ha több céltárgyat helyeznek a bevonókamrába, akkor a többrétegű film előkészítése ugyanabban a kamrában is elvégezhető anélkül, hogy a vákuumot egyszerre károsítanák. A diszulfidbevonat előállításához használt, belső és külső csapágygyűrűkhöz dedikált elektródás rádiófrekvenciás eszköz például 11,36 MHz-es rádiófrekvenciás forrásfrekvenciával, 2 ~ 3 kV céltárgyfeszültséggel, 12 kW összteljesítménnyel, 0,008 T mágneses indukciós erősségének működési tartományával és 6,5X10-4Pa vákuumhatárral rendelkezik. Magas és alacsony lerakódási sebesség is lehetséges. Ezenkívül az RF porlasztási teljesítmény kihasználásának hatásfoka alacsony, és nagy mennyiségű energia hővé alakul, amely a céltárgy hűtővizéből elvész.
– Ezt a cikket a következő tette közzé:vákuumbevonó gép gyártóGuangdong Zhenhua
Közzététel ideje: 2023. dec. 21.