A. Gwo vitès pulverizasyon. Pa egzanp, lè w ap pulveriza SiO2, vitès depo a ka rive jiska 200nm/min, anjeneral jiska 10 ~ 100nm/min.
Epi vitès fòmasyon fim nan dirèkteman pwopòsyonèl ak pouvwa frekans segondè a.
B. Adhesion ant fim nan ak substrat la pi gran pase depo vapè vakyòm kouch fim nan. Sa a se akòz enèji sinetik mwayèn baz ak kò atòm ensidan an ki apeprè 10eV, epi nan plasma substrat la pral sibi yon netwayaj pulverizasyon strik ki pral lakòz mwens twou zegwi nan kouch manbràn lan, pite segondè, kouch manbràn dans.
C. Adaptabilite laj materyèl manbràn lan, swa metal oswa ki pa metal oswa konpoze, prèske tout materyèl yo ka prepare nan yon plak won, yo ka itilize pou yon tan long.
D. Kondisyon pou fòm substrati a pa twò egzijan. Sifas inegal substrati a oswa prezans ti fant ki gen yon lajè mwens pase 1mm kapab tou flite nan yon fim.
Aplikasyon kouch pulverizasyon radyo-frekans Baze sou karakteristik ki anwo yo, kouch ki depoze pa pulverizasyon radyo-frekans lan pi lajman itilize kounye a, espesyalman nan preparasyon sikui entegre ak fim fonksyon dyelèktrik la patikilyèman lajman itilize. Pa egzanp, materyèl ki pa kondiktè ak semi-kondiktè depoze pa pulverizasyon RF, tankou eleman: semi-kondiktè Si ak Ge, materyèl konpoze GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, semi-kondiktè tanperati ki wo SiC, konpoze feroelektrik B14T3O12, materyèl objè gazifikasyon In2Os, SiO2, Al203, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, vè, plastik, elatriye.
Si yo mete plizyè sib nan chanm kouch la, li posib tou pou konplete preparasyon fim milti-kouch la nan menm chanm nan san detwi vakyòm nan an menm tan. Yon aparèy frekans radyo elektwòd dedye pou bag enteryè ak ekstèn kote yo pote pou preparasyon kouch disulfid se yon egzanp ekipman yo itilize nan frekans sous frekans radyo a ki se 11.36MHz, vòltaj sib la se 2 ~ 3kV, puisans total la se 12kW, ranje travay fòs endiksyon mayetik la se 0.008T, limit vakyòm chanm vakyòm nan se 6.5X10-4Pa. To depo ki wo ak ba. Anplis de sa, efikasite itilizasyon pouvwa pulverizasyon RF a ba, epi yon gwo kantite pouvwa konvèti an chalè, ki pèdi nan dlo refwadisman sib la.
–Atik sa a pibliye pamanifakti machin kouch vakyòmGuangdong Zhenhua
Dat piblikasyon: 21 Desanm 2023