आरएफ स्पटरिंग कोटिंग मुख्य विशेषताएं

A. उच्च स्पटरिंग दर। उदाहरण के लिए, SiO2 को स्पटरिंग करते समय, जमाव दर 200nm/min तक हो सकती है, आमतौर पर 10 ~ 100nm/min तक।

और फिल्म निर्माण की दर उच्च आवृत्ति शक्ति के सीधे आनुपातिक होती है।

बी.फिल्म और सब्सट्रेट के बीच आसंजन फिल्म परत के वैक्यूम वाष्प जमाव से अधिक है। यह घटना परमाणु के शरीर के आधार के कारण लगभग 10eV की औसत गतिज ऊर्जा है, और प्लाज्मा सब्सट्रेट में सख्त स्पटरिंग सफाई के अधीन किया जाएगा जिसके परिणामस्वरूप झिल्ली परत में कम पिनहोल, उच्च शुद्धता, घनी झिल्ली परत होगी।

सी.झिल्ली सामग्री की व्यापक अनुकूलनशीलता, चाहे वह धातु हो या अधातु या यौगिक, लगभग सभी सामग्रियों को एक गोल प्लेट में तैयार किया जा सकता है, जिसका उपयोग लंबे समय तक किया जा सकता है।

D. सब्सट्रेट के आकार की आवश्यकताएं मांग नहीं कर रही हैं। सब्सट्रेट की असमान सतह या 1 मिमी से कम की चौड़ाई वाले छोटे स्लिट्स के अस्तित्व को भी एक फिल्म में फैलाया जा सकता है।

रेडियो फ्रीक्वेंसी स्पटरिंग कोटिंग का अनुप्रयोग उपरोक्त विशेषताओं के आधार पर, रेडियो फ्रीक्वेंसी स्पटरिंग द्वारा जमा की गई कोटिंग वर्तमान में अधिक व्यापक रूप से उपयोग की जाती है, विशेष रूप से एकीकृत सर्किट और डाइइलेक्ट्रिक फ़ंक्शन फिल्म की तैयारी में विशेष रूप से व्यापक रूप से उपयोग की जाती है। उदाहरण के लिए, आरएफ स्पटरिंग द्वारा जमा की गई गैर-कंडक्टर और अर्धचालक सामग्री, जिसमें तत्व शामिल हैं: अर्धचालक Si और Ge, यौगिक पदार्थ GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, उच्च तापमान अर्धचालक SiC, फेरोइलेक्ट्रिक यौगिक B14T3O12, गैसीकरण वस्तु पदार्थ In2Os, SiO2, Al203, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, कांच, प्लास्टिक, आदि।

यदि कोटिंग कक्ष में कई लक्ष्य रखे जाते हैं, तो एक ही समय में वैक्यूम को नष्ट किए बिना एक ही कक्ष में बहु-परत फिल्म की तैयारी को पूरा करना भी संभव है। डाइसल्फ़ाइड कोटिंग की तैयारी के लिए आंतरिक और बाहरी रिंगों को वहन करने के लिए समर्पित इलेक्ट्रोड रेडियो आवृत्ति उपकरण 11.36 मेगाहर्ट्ज की रेडियो आवृत्ति स्रोत आवृत्ति, 2 ~ 3kV का लक्ष्य वोल्टेज, 12kW की कुल शक्ति, 0.008T की चुंबकीय प्रेरण शक्ति की कार्य सीमा, वैक्यूम कक्ष वैक्यूम की सीमा 6.5X10-4Pa है। उच्च और निम्न जमा दर। इसके अलावा, आरएफ स्पटरिंग पावर उपयोग दक्षता कम है, और बड़ी मात्रा में बिजली गर्मी में परिवर्तित हो जाती है, जो लक्ष्य के शीतलन जल से खो जाती है।

-यह लेख द्वारा जारी किया गया हैवैक्यूम कोटिंग मशीन निर्मातागुआंग्डोंग झेंहुआ