A. ઉચ્ચ સ્પટરિંગ દર. ઉદાહરણ તરીકે, SiO2 સ્પટર કરતી વખતે, ડિપોઝિશન દર 200nm/મિનિટ સુધી હોઈ શકે છે, સામાન્ય રીતે 10~100nm/મિનિટ સુધી.
અને ફિલ્મ નિર્માણનો દર ઉચ્ચ આવર્તન શક્તિના સીધા પ્રમાણસર છે.
B. ફિલ્મ અને સબસ્ટ્રેટ વચ્ચેનું સંલગ્નતા ફિલ્મ સ્તરના વેક્યુમ વરાળ નિક્ષેપ કરતા વધારે છે. આ ઘટના અણુના શરીર પર આધાર સરેરાશ ગતિ ઊર્જા લગભગ 10eV ને કારણે છે, અને પ્લાઝ્મા સબસ્ટ્રેટમાં કડક સ્પટરિંગ સફાઈ કરવામાં આવશે જેના પરિણામે પટલ સ્તરમાં ઓછા પિનહોલ, ઉચ્ચ શુદ્ધતા, ગાઢ પટલ સ્તર બનશે.
C. પટલ સામગ્રીની વ્યાપક અનુકૂલનક્ષમતા, કાં તો ધાતુ હોય કે બિન-ધાતુ હોય કે સંયોજનો, લગભગ બધી સામગ્રીને ગોળ પ્લેટમાં તૈયાર કરી શકાય છે, લાંબા સમય સુધી વાપરી શકાય છે.
D. સબસ્ટ્રેટના આકાર માટેની જરૂરિયાતો ખૂબ જ મુશ્કેલ નથી. સબસ્ટ્રેટની અસમાન સપાટી અથવા 1 મીમી કરતા ઓછી પહોળાઈવાળા નાના સ્લિટ્સનું અસ્તિત્વ પણ ફિલ્મમાં ભેળવી શકાય છે.
રેડિયો ફ્રીક્વન્સી સ્પટરિંગ કોટિંગનો ઉપયોગ ઉપરોક્ત લાક્ષણિકતાઓના આધારે, રેડિયો ફ્રીક્વન્સી સ્પટરિંગ દ્વારા જમા કરાયેલ કોટિંગ હાલમાં વધુ વ્યાપકપણે ઉપયોગમાં લેવાય છે, ખાસ કરીને ઇન્ટિગ્રેટેડ સર્કિટ અને ડાઇલેક્ટ્રિક ફંક્શન ફિલ્મની તૈયારીમાં તેનો ખાસ ઉપયોગ થાય છે. ઉદાહરણ તરીકે, RF સ્પટરિંગ દ્વારા જમા કરાયેલા બિન-વાહક અને સેમિકન્ડક્ટર સામગ્રી, જેમાં તત્વોનો સમાવેશ થાય છે: સેમિકન્ડક્ટર Si અને Ge, સંયોજન સામગ્રી GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, ઉચ્ચ-તાપમાન સેમિકન્ડક્ટર SiC, ફેરોઇલેક્ટ્રિક સંયોજનો B14T3O12, ગેસિફિકેશન ઑબ્જેક્ટ સામગ્રી In2Os, SiO2, Al203, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, કાચ, પ્લાસ્ટિક, વગેરે.
જો કોટિંગ ચેમ્બરમાં અનેક લક્ષ્યો મૂકવામાં આવે, તો એક જ ચેમ્બરમાં એક જ સમયે શૂન્યાવકાશનો નાશ કર્યા વિના મલ્ટિ-લેયર ફિલ્મની તૈયારી પૂર્ણ કરવી પણ શક્ય છે. ડાયસલ્ફાઇડ કોટિંગની તૈયારી માટે આંતરિક અને બાહ્ય રિંગ્સ બેરિંગ માટે સમર્પિત ઇલેક્ટ્રોડ રેડિયો ફ્રીક્વન્સી ડિવાઇસ એ 11.36MHz ની રેડિયો ફ્રીક્વન્સી સોર્સ ફ્રીક્વન્સી, 2 ~ 3kV નું લક્ષ્ય વોલ્ટેજ, 12kW ની કુલ શક્તિ, 0.008T ની ચુંબકીય ઇન્ડક્શન શક્તિની કાર્યકારી શ્રેણી, વેક્યૂમ ચેમ્બર વેક્યૂમની મર્યાદા 6.5X10-4Pa છે. ઉચ્ચ અને નીચો ડિપોઝિશન દર. વધુમાં, RF સ્પટરિંગ પાવર ઉપયોગ કાર્યક્ષમતા ઓછી છે, અને મોટી માત્રામાં શક્તિ ગરમીમાં રૂપાંતરિત થાય છે, જે લક્ષ્યના ઠંડકવાળા પાણીમાંથી ખોવાઈ જાય છે.
- આ લેખ પ્રકાશિત થયો છેવેક્યુમ કોટિંગ મશીન ઉત્પાદકગુઆંગડોંગ ઝેન્હુઆ
પોસ્ટ સમય: ડિસેમ્બર-21-2023