Ión de arco de cátodo de baleirocoA abreviatura atópase como arco de baleirocoación. Se se usan dúas ou máis fontes de evaporación por arco de baleiro (denominadas fontes de arco), denomínase ión de arco múltiplecoarco ativo ou multiarcocoación. É unha tecnoloxía de revestimento de ións ao baleiro que usa descarga de arco ao baleiro para fontes de evaporación. A diferenza do arco de electróns quentes da descarga de cátodo oco, a súa forma de arco é a formación de puntos de arco de cátodo na superficie do cátodo frío.
As características do ión de arco de cátodo de baleirocoación son:
(1) A fonte de evaporación é un obxectivo de cátodo sólido, que xera plasma directamente a partir da fonte obxectivo do cátodo sen necesidade dun charco fundido. A fonte obxectivo de arco pode estar disposta en calquera dirección e con varias fontes para garantir un revestimento uniforme.
(2) A estrutura do equipo é relativamente simple, sen necesidade de gas de traballo ou métodos de ionización auxiliares. A fonte de destino do arco non é só unha fonte de evaporación para o material do cátodo, senón tamén unha fonte de ións; Durante a deposición reactiva, só existe gas reactivo e a atmosfera contrólase mediante un simple control de presión total.
(3) A taxa de ionización é alta, xeralmente chegando ao 60%~80%, e a taxa de deposición é alta.
(4) A enerxía dos ións incidentes é alta e a forza de unión película/substrato da película depositada é boa.
(5) Empregar unha fonte de alimentación de baixa tensión para un funcionamento seguro.
(6) Pode depositar películas metálicas, películas de aliaxe, reaccionar e sintetizar varias películas compostas (compostos de amoníaco, carburos, óxidos) e mesmo sintetizar películas DLC, películas CN, etc. A súa desvantaxe é que durante a deposición, pequenas pingas de líquido salpican desde a superficie obxectivo, que se condensan na capa de película revestida e aumentan a rugosidade da capa de película. Actualmente, estudáronse moitos métodos eficaces para reducir e eliminar estas micropingas.
Ión de arco de baleirocoA tecnoloxía de revestimento utilizouse amplamente para revestir revestimentos protectores superduros para ferramentas e moldes. Os sistemas de película inclúen TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, etc. Os produtos de revestimento inclúen ferramentas, moldes, etc. En canto a revestimentos protectores decorativos de imitación de ouro e cor, os sistemas de película inclúen TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, etc. Os sistemas de película en cor inclúen negro pistola, negro, púrpura, marrón, azul verde gris, etc.
Ión de arco múltiplecoA aplicación ten unha ampla gama de aplicacións e unha forte practicidade, especialmente no revestimento de capas de película dura decorativas e resistentes ao desgaste nas superficies de materiais como ferramentas de corte, moldes e placas de aceiro inoxidable.
Data de publicación: 17 de agosto de 2023