A. Ìre spùtadh àrd. Mar eisimpleir, nuair a thathar a’ spùtadh SiO2, faodaidh an ìre tasgaidh a bhith suas ri 200nm/min, mar as trice suas ri 10~100nm/min.
Agus tha an ìre aig a bheil am film air a chruthachadh dìreach co-rèireach ris a’ chumhachd àrd-tricead.
B. Tha an greamachadh eadar am film agus an t-substrate nas motha na tasgadh smùid falamh sreath an fhilm. Tha seo air sgàth gu bheil lùth cineatach cuibheasach timcheall air 10eV aig a’ bhunait ri corp an dadaim a tha a’ tighinn a-steach, agus anns an t-substrate plasma bidh e fo ùmhlachd glanadh sputtering teann a’ leantainn gu nas lugha de thuill-phrìne anns an t-sreath membran, sreath membran àrd-ghlainead, dùmhail.
C. Atharrachadh farsaing stuth an membran, ge bith an e meatailt no neo-mheatailt no todhar a th’ ann, faodar cha mhòr a h-uile stuth ullachadh ann am plàta cruinn, agus faodar a chleachdadh airson ùine mhòr.
D. Chan eil na riatanasan airson cumadh an t-substrate ro àrd. Faodar uachdar neo-chothromach an t-substrate no sliotan beaga le leud nas lugha na 1mm a spùtadh a-steach do fhilm cuideachd.
Cleachdadh còmhdach sputtering tricead rèidio Stèidhichte air na feartan gu h-àrd, tha an còmhdach a chaidh a thasgadh le sputtering tricead rèidio air a chleachdadh nas fharsainge an-dràsta, gu sònraichte ann an ullachadh chuairtean amalaichte agus tha film gnìomh dielectric air a chleachdadh gu sònraichte farsaing. Mar eisimpleir, stuthan neo-stiùiriche agus leth-chonnsachaidh air an tasgadh le sputtering RF, a’ gabhail a-steach eileamaidean: leth-chonnsachaidh Si agus Ge, stuthan co-thàthaichte GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, leth-chonnsachaidhean àrd-teòthachd SiC, todhar ferroelectric B14T3O12, stuthan nì gasachaidh In2Os, SiO2, Al203, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, glainne, plastaig, msaa.
Ma thèid grunn thargaidean a chur anns an t-seòmar còtaidh, tha e comasach cuideachd ullachadh film ioma-fhilleadh a chrìochnachadh san aon t-seòmar gun an fhalamh a mhilleadh aig an aon àm. Tha inneal tricead rèidio electrod sònraichte airson fàinneachan a-staigh agus a-muigh a ghiùlan airson còmhdach disulfide ullachadh na eisimpleir den uidheamachd a thathas a’ cleachdadh anns an tricead stòr tricead rèidio de 11.36MHz, bholtaids targaid de 2 ~ 3kV, cumhachd iomlan de 12kW, raon obrach neart inntrigidh magnetach de 0.008T, agus crìoch falamh an t-seòmair fhalamh 6.5X10-4Pa. Ìre tasgaidh àrd is ìosal. A bharrachd air an sin, tha èifeachdas cleachdaidh cumhachd sputtering RF ìosal, agus tha tòrr cumhachd air a thionndadh gu teas, a thèid a chall bho uisge fuarachaidh an targaid.
–Tha an t-artaigil seo air fhoillseachadh leneach-dèanamh inneal còmhdach falamhGuangdong Zhenhua
Àm puist: 21 Dùbhlachd 2023