A. Ráta ard spútaireachta. Mar shampla, agus SiO2 á spútaireacht, is féidir leis an ráta taiscthe a bheith suas le 200nm/nóim, de ghnáth suas le 10~100nm/nóim.
Agus tá ráta foirmithe scannáin comhréireach go díreach leis an gcumhacht ardmhinicíochta.
B. Tá an greamaitheacht idir an scannán agus an tsubstráit níos mó ná taisceadh gaile folúis an chiseal scannáin. Tá sé seo mar gheall ar an meánfhuinneamh cinéiteach de thart ar 10 eV atá ag an mbonn i gcoinne chorp an adaimh teagmhais, agus sa phlasma déanfar glanadh spútarála dian air, rud a fhágann níos lú poill bioráin sa chiseal membrane, ard-íonacht, ciseal membrane dlúth.
C. Inoiriúnaitheacht leathan ábhar an scannáin, bíodh sé miotail nó neamh-mhiotail nó comhdhúile, is féidir beagnach gach ábhar a ullmhú i pláta cruinn, is féidir é a úsáid ar feadh i bhfad.
D. Níl na ceanglais maidir le cruth an tsubstráit dian. Is féidir dromchla míchothrom an tsubstráit nó scoilteanna beaga atá níos lú ná 1mm ar leithead a spútaráil isteach i scannán freisin.
Feidhmiú sciath spútaireachta minicíochta raidió Bunaithe ar na tréithe thuas, úsáidtear an sciath a thaisctear trí spútaireacht minicíochta raidió níos forleithne faoi láthair, go háirithe in ullmhú ciorcad comhtháite agus úsáidtear scannán feidhme tréleictreach go háirithe go forleathan. Mar shampla, ábhair neamhsheoltóra agus leathsheoltóra a thaisctear trí spútaireacht RF, lena n-áirítear eilimintí: leathsheoltóir Si agus Ge, ábhair chomhdhúile GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, leathsheoltóirí ardteochta SiC, comhdhúile ferroelectric B14T3O12, ábhair réad gásúcháin In2Os, SiO2, Al203, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, gloine, plaisteach, etc.
Má chuirtear roinnt spriocanna sa seomra sciath, is féidir ullmhú an scannáin ilchiseal a chríochnú sa seomra céanna gan an folús a scriosadh ag an am céanna. Is sampla den trealamh a úsáidtear sa mhinicíocht foinse raidió de 11.36MHz, voltas sprice de 2 ~ 3kV, cumhacht iomlán de 12kW, raon oibre neart ionduchtaithe maighnéadaigh de 0.008T, agus teorainn folúis an tseomra folúis de 6.5X10-4Pa é gléas minicíochta raidió tiomnaithe le haghaidh imthacaí fáinní istigh agus seachtracha chun sciath déshuilfíde a ullmhú. Tá ráta taiscthe ard agus íseal ag an bhfeiste. Thairis sin, tá éifeachtúlacht úsáide cumhachta an spútar RF íseal, agus déantar cuid mhór cumhachta a thiontú ina theas, a chailltear ó uisce fuaraithe an sprice.
–Tá an t-alt seo eisithe agmonaróir meaisín sciath folúisGuangdong Zhenhua
Am an phoist: 21 Nollaig 2023