A. Suur pihustuskiirus. Näiteks SiO2 pihustamisel võib sadestumiskiirus olla kuni 200 nm/min, tavaliselt kuni 10–100 nm/min.
Ja kile moodustumise kiirus on otseselt proportsionaalne kõrgsagedusliku võimsusega.
B. Kile ja aluspinna vaheline adhesioon on suurem kui kilekihi vaakumsadestamise tulemus. See on tingitud aluse ja langeva aatomi keskmise kineetilise energia umbes 10 eV kohta ning plasmas toimub aluspinna range pihustuspuhastus, mille tulemuseks on membraanikihis vähem auke ning kõrge puhtusaste ja tihe membraanikiht.
C. Membraanimaterjali laialdane kohanemisvõime, olgu see siis metall või mittemetall või ühendid, peaaegu kõiki materjale saab valmistada ümmarguseks plaadiks, mida saab pikka aega kasutada.
D. Aluspinna kuju nõuded ei ole ranged. Aluspinna ebatasast pinda või alla 1 mm laiuste väikeste pilude olemasolu saab samuti kilesse pihustada.
Raadiosagedusliku pihustuskatte kasutamine Eeltoodud omaduste põhjal on raadiosagedusliku pihustamisega sadestatud kate praegu laialdasemalt kasutusel, eriti integraallülituste valmistamisel ja eriti laialdaselt kasutatakse dielektrilise funktsiooniga kile. Näiteks raadiosagedusliku pihustamisega sadestatud mittejuhtivad ja pooljuhtmaterjalid, sealhulgas elemendid: pooljuht Si ja Ge, liitmaterjalid GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, kõrgtemperatuurilised pooljuhid SiC, ferroelektrilised ühendid B14T3O12, gaasistamisobjektide materjalid In2Os, SiO2, Al203, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, klaas, plastik jne.
Kui katmiskambrisse paigutatakse mitu märklauda, on võimalik mitmekihilise kile ettevalmistamine samas kambris lõpule viia ilma vaakumit korraga rikkumata. Disulfiidkatte ettevalmistamiseks mõeldud laagri sise- ja välisrõnga jaoks mõeldud spetsiaalne elektroodidega raadiosageduslik seade on näide kasutatavast seadmest, mille raadiosageduslik allikas on 11,36 MHz, märklaua pinge 2–3 kV, koguvõimsus 12 kW, magnetilise induktsiooni tugevuse tööpiirkond 0,008 T ja vaakumkambri vaakumi piirväärtus 6,5 x 10⁻⁸Pa. Sadestuskiirus on kõrge ja madal. Lisaks on raadiosagedusliku pihustamise energia kasutamise efektiivsus madal ja suur hulk energiat muundatakse soojuseks, mis läheb märklaua jahutusveest kaduma.
– Selle artikli avaldasvaakumkatmismasinate tootjaGuangdongi Zhenhua
Postituse aeg: 21. detsember 2023