Vakuumkathodenbogenionencoating wird als Vakuumbogen abgekürztcoWenn zwei oder mehr Vakuum-Lichtbogenverdampfungsquellen (als Lichtbogenquellen bezeichnet) verwendet werden, spricht man von einer Multi-Arc-Ionenverdampfung.coating oder Multi ArccoEs handelt sich um eine Vakuum-Ionenbeschichtungstechnologie, die Vakuumbogenentladungen für Verdampfungsquellen nutzt. Im Gegensatz zum heißen Elektronenbogen der Hohlkathodenentladung besteht die Lichtbogenform aus der Bildung von Kathodenbogenflecken auf der Oberfläche der Kaltkathode.
Die Eigenschaften der Vakuumkathodenbogenionencoating sind:
(1) Die Verdampfungsquelle ist ein festes Kathodentarget, das Plasma direkt aus der Kathodentargetquelle erzeugt, ohne dass ein Schmelzbad erforderlich ist. Die Lichtbogentargetquelle kann in beliebiger Richtung und mit mehreren Quellen angeordnet werden, um eine gleichmäßige Beschichtung zu gewährleisten.
(2) Der Aufbau der Anlage ist relativ einfach, da weder Arbeitsgas noch zusätzliche Ionisationsverfahren erforderlich sind. Die Lichtbogen-Targetquelle dient nicht nur als Verdampfungsquelle für das Kathodenmaterial, sondern auch als Ionenquelle. Bei der reaktiven Abscheidung ist ausschließlich Reaktivgas vorhanden, und die Atmosphäre wird über eine einfache Volldruckregelung gesteuert.
(3) Die Ionisierungsrate ist hoch und erreicht im Allgemeinen 60 bis 80 %, und die Ablagerungsrate ist hoch.
(4) Die einfallende Ionenenergie ist hoch und die Film/Substrat-Bindungskraft des abgeschiedenen Films ist gut.
(5) Für einen sicheren Betrieb ist die Verwendung einer Niederspannungsstromversorgung erforderlich.
(6) Es können Metall- und Legierungsschichten abgeschieden, verschiedene Verbundschichten (Ammoniakverbindungen, Carbide, Oxide) umgesetzt und synthetisiert sowie sogar DLC- und CN-Schichten usw. synthetisiert werden. Der Nachteil besteht darin, dass bei der Abscheidung winzige Flüssigkeitströpfchen von der Zieloberfläche spritzen, die in der aufgetragenen Schicht kondensieren und deren Rauheit erhöhen. Derzeit werden viele wirksame Methoden zur Reduzierung und Beseitigung dieser Mikrotröpfchen untersucht.
VakuumbogenionencoDie Beschichtungstechnologie wird häufig zum Auftragen superharter Schutzbeschichtungen für Werkzeuge und Formen eingesetzt. Zu den Beschichtungssystemen gehören TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC usw. Zu den Beschichtungsprodukten gehören Werkzeuge, Formen usw. Zu den Beschichtungssystemen für Goldimitationen und farbige dekorative Schutzbeschichtungen gehören TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON usw. Zu den Farbbeschichtungssystemen gehören Gun Black, Schwarz, Lila, Braun, Blau, Grün, Grau usw.
Mehrfachbogen-IonencoDie Beschichtung verfügt über ein breites Anwendungsspektrum und ist äußerst praktisch, insbesondere beim Auftragen dekorativer und verschleißfester Hartfilmschichten auf die Oberflächen von Materialien wie Schneidwerkzeugen, Formen und Edelstahlplatten.
Veröffentlichungszeit: 17. August 2023