A. Cyfradd chwistrellu uchel. Er enghraifft, wrth chwistrellu SiO2, gall y gyfradd dyddodiad fod hyd at 200nm/mun, fel arfer hyd at 10~100nm/mun.
Ac mae cyfradd ffurfio ffilm yn gymesur yn uniongyrchol â'r pŵer amledd uchel.
B. Mae'r adlyniad rhwng y ffilm a'r swbstrad yn fwy na dyddodiad anwedd gwactod yr haen ffilm. Mae hyn oherwydd bod egni cinetig cyfartalog y sylfaen i gorff yr atom digwyddiad tua 10eV, ac yn y swbstrad plasma bydd yn destun glanhau chwistrellu llym gan arwain at lai o dyllau pin yn yr haen bilen, purdeb uchel, haen bilen drwchus.
C. Addasrwydd eang y deunydd pilen, boed yn fetel neu'n anfetel neu gyfansoddion, gellir paratoi bron pob deunydd yn blât crwn, gellir ei ddefnyddio am amser hir.
D. Nid yw'r gofynion ar gyfer siâp y swbstrad yn heriol. Gellir chwistrellu arwyneb anwastad y swbstrad neu bresenoldeb holltau bach gyda lled o lai nag 1mm i mewn i ffilm hefyd.
Cymhwyso cotio chwistrellu amledd radio Yn seiliedig ar y nodweddion uchod, mae'r cotio a adneuwyd gan chwistrellu amledd radio yn cael ei ddefnyddio'n fwy eang ar hyn o bryd, yn enwedig wrth baratoi cylchedau integredig a defnyddir ffilm swyddogaeth dielectrig yn arbennig o eang. Er enghraifft, deunyddiau nad ydynt yn ddargludyddion a lled-ddargludyddion a adneuwyd gan chwistrellu amledd radio, gan gynnwys elfennau: lled-ddargludyddion Si a Ge, deunyddiau cyfansawdd GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, lled-ddargludyddion tymheredd uchel SiC, cyfansoddion fferoelectrig B14T3O12, deunyddiau gwrthrych nwyeiddio In2Os, SiO2, Al203, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, gwydr, plastig, ac ati.
Os gosodir sawl targed yn y siambr orchuddio, mae hefyd yn bosibl cwblhau paratoi ffilm aml-haen yn yr un siambr heb ddinistrio'r gwactod ar un adeg. Mae dyfais amledd radio electrod bwrpasol ar gyfer dwyn cylchoedd mewnol ac allanol ar gyfer paratoi cotio disulfide yn enghraifft o'r offer a ddefnyddir yn yr amledd ffynhonnell amledd radio o 11.36MHz, foltedd targed o 2 ~ 3kV, cyfanswm pŵer o 12kW, ystod waith cryfder anwythiad magnetig o 0.008T, terfyn gwactod y siambr wactod yw 6.5X10-4Pa. Cyfradd dyddodiad uchel ac isel. Ar ben hynny, mae effeithlonrwydd defnyddio pŵer chwistrellu RF yn isel, ac mae llawer iawn o bŵer yn cael ei drawsnewid yn wres, sy'n cael ei golli o ddŵr oeri'r targed.
–Cyhoeddir yr erthygl hon gangwneuthurwr peiriant cotio gwactodGuangdong Zhenhua
Amser postio: 21 Rhagfyr 2023