উ: উচ্চ স্পুটারিং হার। উদাহরণস্বরূপ, SiO2 স্পুটারিং করার সময়, জমার হার 200nm/মিনিট পর্যন্ত হতে পারে, সাধারণত 10~100nm/মিনিট পর্যন্ত।
এবং ফিল্ম গঠনের হার উচ্চ ফ্রিকোয়েন্সি পাওয়ারের সাথে সরাসরি সমানুপাতিক।
B. ফিল্ম এবং সাবস্ট্রেটের মধ্যে আনুগত্য ফিল্ম স্তরের ভ্যাকুয়াম বাষ্প জমার চেয়ে বেশি। এর কারণ হল আপতিত পরমাণুর দেহের সাথে বেসের গড় গতিশক্তি প্রায় 10eV, এবং প্লাজমা সাবস্ট্রেটকে কঠোর স্পুটারিং পরিষ্কারের আওতায় আনা হবে যার ফলে মেমব্রেন স্তরে পিনহোল কম হবে, উচ্চ বিশুদ্ধতা থাকবে, মেমব্রেন স্তর ঘন হবে।
গ. ঝিল্লি উপাদানের ব্যাপক অভিযোজনযোগ্যতা, ধাতু বা অধাতু বা যৌগিক, প্রায় সমস্ত উপকরণ একটি বৃত্তাকার প্লেটে প্রস্তুত করা যেতে পারে, দীর্ঘ সময়ের জন্য ব্যবহার করা যেতে পারে।
ঘ. সাবস্ট্রেটের আকৃতির জন্য প্রয়োজনীয়তাগুলি খুব বেশি কঠিন নয়। সাবস্ট্রেটের অসম পৃষ্ঠ বা ১ মিমি-এর কম প্রস্থের ছোট ছোট ফাটলের অস্তিত্বও একটি ফিল্মে ছিটিয়ে দেওয়া যেতে পারে।
রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি স্পুটারিং আবরণের প্রয়োগ উপরের বৈশিষ্ট্যগুলির উপর ভিত্তি করে, রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি স্পুটারিং দ্বারা জমা হওয়া আবরণ বর্তমানে আরও ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়, বিশেষ করে ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট এবং ডাইইলেক্ট্রিক ফাংশন ফিল্ম তৈরিতে। উদাহরণস্বরূপ, RF স্পুটারিং দ্বারা জমা হওয়া নন-কন্ডাক্টর এবং সেমিকন্ডাক্টর উপকরণ, যার মধ্যে রয়েছে উপাদান: সেমিকন্ডাক্টর Si এবং Ge, যৌগিক উপকরণ GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, উচ্চ-তাপমাত্রার সেমিকন্ডাক্টর SiC, ফেরোইলেকট্রিক যৌগ B14T3O12, গ্যাসিফিকেশন বস্তু উপকরণ In2Os, SiO2, Al203, Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, কাচ, প্লাস্টিক ইত্যাদি।
যদি লেপ চেম্বারে একাধিক লক্ষ্যবস্তু স্থাপন করা হয়, তাহলে একই চেম্বারে একাধিক স্তরের ফিল্ম তৈরির কাজ একসাথে ভ্যাকুয়াম ধ্বংস না করে সম্পন্ন করা সম্ভব। ডাইসালফাইড লেপ তৈরির জন্য অভ্যন্তরীণ এবং বাইরের রিং বহন করার জন্য ডেডিকেটেড ইলেক্ট্রোড রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি ডিভাইস হল রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি সোর্স ফ্রিকোয়েন্সি 11.36MHz, টার্গেট ভোল্টেজ 2 ~ 3kV, মোট শক্তি 12kW, চৌম্বকীয় আবেশন শক্তির কাজের পরিসর 0.008T, ভ্যাকুয়াম চেম্বার ভ্যাকুয়ামের সীমা 6.5X10-4Pa। উচ্চ এবং নিম্ন জমার হার। তাছাড়া, RF স্পুটারিং পাওয়ার ব্যবহারের দক্ষতা কম, এবং প্রচুর পরিমাণে শক্তি তাপে রূপান্তরিত হয়, যা টার্গেটের শীতল জল থেকে হারিয়ে যায়।
–এই প্রবন্ধটি প্রকাশিত হয়েছেভ্যাকুয়াম লেপ মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া
পোস্টের সময়: ডিসেম্বর-২১-২০২৩