A. Yüksək püskürmə sürəti. Məsələn, SiO2 səpərkən, çökmə sürəti 200nm/dəq, adətən 10~100nm/dəq ola bilər.
Və filmin formalaşma sürəti yüksək tezlikli güclə birbaşa mütənasibdir.
B. Film və substrat arasında yapışma film təbəqəsinin vakuum buxarının çökməsindən daha böyükdür. Bu, təxminən 10eV-lik hadisə atomunun orta kinetik enerjisi ilə əlaqədardır və plazma substratında membran təbəqəsində daha az pinholes, yüksək təmizlik, sıx membran təbəqəsi ilə nəticələnən ciddi sputtering təmizlənməsinə məruz qalacaq.
C.Membran materialının geniş uyğunlaşması, istər metal, istər qeyri-metal, istərsə də birləşmələr, demək olar ki, bütün materiallar yuvarlaq bir boşqaba hazırlana bilər, uzun müddət istifadə edilə bilər.
D. Substratın formasına olan tələblər tələbkar deyil. Substratın qeyri-bərabər səthi və ya eni 1 mm-dən az olan kiçik yarıqların olması da bir filmə püskürə bilər.
Radiotezlik sıçratma örtüyünün tətbiqi Yuxarıda göstərilən xüsusiyyətlərə əsasən, radiotezlik püskürməsi ilə çökdürülmüş örtük hal-hazırda daha geniş istifadə olunur, xüsusilə inteqral sxemlərin hazırlanmasında və dielektrik funksiyalı film xüsusilə geniş istifadə olunur. Məsələn, RF püskürməsi ilə yığılan qeyri-keçirici və yarımkeçirici materiallar, o cümlədən elementlər: yarımkeçirici Si və Ge, mürəkkəb materiallar GsAs, GaSb, GaN, InSb, InN, AIN, CaSe, Cds, PbTe, yüksək temperaturlu yarımkeçiricilər SiC, ferroelektrik birləşmələr B14T3O2, Al, qazlaşdırma obyekti, Al302, Al. Y203, TiO2, ZiO2, SnO2, PtO, HfO2, Bi2O2, ZnO2, CdO, şüşə, plastik və s.
Əgər örtük kamerasına bir neçə hədəf qoyularsa, eyni zamanda vakuumu məhv etmədən eyni kamerada çox qatlı plyonkanın hazırlanmasını başa çatdırmaq da mümkündür. Disulfid örtüyünün hazırlanması üçün daxili və xarici halqaların daşıyıcısı üçün xüsusi elektrod radiotezliyi cihazı 11,36 MHz tezliyi, 2 ~ 3 kV hədəf gərginliyi, ümumi gücü 12 kVt, maqnit induksiya gücünün iş diapazonu 0,008 T, vakuum hüdudları olan radiotezlik mənbəyində istifadə olunan avadanlıqların nümunəsidir. 6.5X10-4Pa. yüksək və aşağı çökmə dərəcəsi. Bundan əlavə, RF püskürtmə gücündən istifadə səmərəliliyi aşağıdır və böyük miqdarda güc hədəfin soyuducu suyundan itirilən istiliyə çevrilir.
- Bu məqalə nəşr olunurvakuum örtük maşın istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Göndərmə vaxtı: 21 dekabr 2023-cü il