Resistance evaporation orisun ti a bo ni ipilẹ igbale evaporation ọna ti a bo. “Evaporation” n tọka si ọna igbaradi fiimu tinrin ninu eyiti ohun elo ti a bo ninu iyẹwu igbale ti gbona ati evaporated, ki awọn ọta ohun elo tabi awọn ohun elo vaporize ki o yọ kuro ni oju, ti o ṣẹda lasan ṣiṣan oru, iṣẹlẹ lori dada ti sobusitireti tabi sobusitireti, ati nikẹhin ti di lati ṣe fiimu ti o lagbara.
Ọna ti a npe ni resistance evaporation orisun ọna ni lati lo tantalum, molybdenum, tungsten ati awọn irin miiran ti o ga julọ lati ṣe apẹrẹ ti o yẹ fun orisun evaporation, ti a ti kojọpọ pẹlu awọn ohun elo ti o wa ni erupẹ, jẹ ki afẹfẹ ṣan nipasẹ, taara ooru ati ki o yọ awọn ohun elo ti a ti yọ kuro, tabi fi awọn ohun elo ti a fi sinu alumina, beryllium indirect oxides ati awọn ohun elo afẹfẹ miiran. Eleyi jẹ awọn resistance alapapo evaporation ọna.
Awọnigbale evaporation ti a bo ẹrọkikan ati evaporated nipasẹ igbona resistance ni awọn anfani ti ọna ti o rọrun, idiyele kekere ati lilo igbẹkẹle. O le ṣee lo fun wiwa evaporation ti awọn ohun elo pẹlu aaye yo kekere, paapaa fun iṣelọpọ ibi-pẹlu awọn ibeere kekere fun didara ibora. Nitorinaa, nọmba nla tun wa ti awọn ilana ti a bo ti alapapo resistance ati evaporation ti a fi sinu lilo ni iṣelọpọ awọn digi alumini.
Awọn aila-nfani ti ọna ti a bo evaporation orisun omi resistance ni pe iwọn otutu ti o pọju ti o le de ọdọ alapapo ni opin, ati pe igbesi aye iṣẹ ti ẹrọ igbona tun kuru. Ni awọn ọdun aipẹ, lati le ni ilọsiwaju igbesi aye ti orisun evaporation resistance, ile-iṣẹ ẹrọ ti gba ohun elo seramiki conductive ti iṣelọpọ nipasẹ boron nitride pẹlu igbesi aye gigun bi orisun evaporation. Gẹgẹbi ijabọ itọsi Japanese kan, o le lo awọn ohun elo ti o jẹ ti 20% ~ 30% boron nitride ati awọn ohun elo ti o ni agbara ti o le dapọ pẹlu rẹ lati ṣe orisun evaporation (crucible), ati ki o wọ oju rẹ pẹlu Layer ti zirconium ti o ni 62% ~ 82%, ati iyokù jẹ awọn ohun elo alloy zirconium-silicon alloy.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹrin Ọjọ 22-2023