Ninu ilana iṣipopada sputtering, awọn agbo ogun le ṣee lo bi awọn ibi-afẹde fun igbaradi ti awọn fiimu iṣelọpọ kemikali. Bibẹẹkọ, akopọ ti fiimu naa ti ipilẹṣẹ lẹhin itọjade ohun elo ibi-afẹde nigbagbogbo yapa pupọ lati ipilẹṣẹ atilẹba ti ohun elo ibi-afẹde, ati nitorinaa ko pade awọn ibeere ti apẹrẹ atilẹba. Ti o ba ti lo ibi-afẹde irin funfun kan, gaasi ti nṣiṣe lọwọ ti a beere (fun apẹẹrẹ, atẹgun nigba ti ngbaradi awọn fiimu oxide) jẹ mimọ dapọ sinu gaasi ti n ṣiṣẹ (danujade), ki o ṣe adaṣe kemikali pẹlu ohun elo ibi-afẹde lati ṣe agbejade fiimu tinrin ti o le ṣakoso ni awọn ofin ti akopọ ati awọn abuda rẹ. Yi ọna ti wa ni igba tọka si bi "ifojusi sputtering".
Gẹgẹbi a ti sọ tẹlẹ, sputtering RF le ṣee lo lati fi awọn fiimu dielectric silẹ ati awọn fiimu oriṣiriṣi oriṣiriṣi. Bibẹẹkọ, lati le mura fiimu “mimọ” kan, o jẹ dandan lati ni ibi-afẹde “mimọ”, ohun elo afẹfẹ giga-mimọ, nitride, carbide, tabi erupẹ agbo miiran. Ṣiṣe awọn lulú wọnyi sinu ibi-afẹde kan ti apẹrẹ kan nilo afikun awọn afikun ti o ṣe pataki fun mimu tabi sisọ, eyiti o mu idinku nla ninu mimọ ti ibi-afẹde ati fiimu ti o yọrisi. Ni ifasilẹ sputtering, sibẹsibẹ, niwon awọn irin-mimọ giga ati awọn gaasi mimọ-giga le ṣee lo, awọn ipo irọrun ti pese fun igbaradi ti awọn fiimu mimọ-giga. Sputtering ifaseyin ti gba akiyesi pọ si ni awọn ọdun aipẹ ati pe o ti di ọna pataki fun sisọ awọn fiimu tinrin ti ọpọlọpọ awọn agbo ogun iṣẹ ṣiṣe. O ti ni lilo pupọ ni iṣelọpọ ti awọn agbo ogun IV, I- ati IV-V, awọn semiconductors refractory, ati awọn oriṣiriṣi oxides, gẹgẹbi lilo polycrystalline Si ati CH./Ar adalu gaasi lati titu ojoriro ti awọn fiimu tinrin SiC, Ti afojusun ati N / Ar lati ṣeto awọn fiimu lile TiN, Ta ati O / Ar lati ṣeto TaO; dielectric tinrin fiimu, Fe ati O, / Ar lati mura -FezO; -Fezo. awọn fiimu gbigbasilẹ, AIN piezoelectric fiimu pẹlu A1 ati N / Ar, A1-CO awọn fiimu gbigba yiyan pẹlu AI ati CO / Ar, ati YBaCuO-superconducting fiimu pẹlu Y-Ba-Cu ati O / Ar, laarin awọn miiran.
-Nkan yii ti tu silẹ nipasẹigbale ti a bo ẹrọ olupeseGuangdong Zhenhua
Akoko ifiweranṣẹ: Jan-18-2024