Igbale cathode arc ioncoating ti wa ni abbreviated bi igbale aakicojijẹ. Ti awọn orisun evaporation arc meji tabi diẹ sii (ti a tọka si bi awọn orisun arc) ni a lo, a pe ni multi arc ion.coating tabi ọpọ aakicojijẹ. O jẹ imọ-ẹrọ ibora ion igbale ti o nlo idasilẹ arc igbale fun awọn orisun evaporation. Ko dabi itanna elekitironi ti o ṣofo ti itusilẹ cathode ṣofo, fọọmu arc rẹ jẹ dida awọn aaye arc cathode lori oju ti cathode tutu.
Awọn abuda ti igbale cathode arc ioncojijẹ ni:
(1) Orisun evaporation jẹ ibi-afẹde cathode ti o lagbara, eyiti o ṣe ipilẹṣẹ pilasima taara lati orisun ibi-afẹde cathode laisi iwulo fun adagun didà. Orisun ibi-afẹde arc le ti wa ni idayatọ ni eyikeyi itọsọna ati awọn orisun pupọ lati rii daju ibora aṣọ.
(2) Eto ohun elo jẹ irọrun ti o rọrun, laisi iwulo fun gaasi ṣiṣẹ tabi awọn ọna ionization iranlọwọ. Orisun ibi-afẹde arc kii ṣe orisun evaporation nikan fun ohun elo cathode, ṣugbọn tun orisun ion; Lakoko ifisilẹ ifaseyin, gaasi ifaseyin nikan wa, ati oju-aye ti wa ni iṣakoso nipa lilo iṣakoso titẹ kikun ti o rọrun.
(3) Iwọn ionization jẹ giga, ni gbogbo igba ti o de 60% ~ 80%, ati pe oṣuwọn igbasilẹ jẹ giga.
(4) Awọn isẹlẹ ion agbara jẹ ga, ati awọn fiimu / sobusitireti imora agbara ti awọn ti o ti fipamọ fiimu ti o dara.
(5) Lilo ipese agbara foliteji kekere fun iṣẹ ailewu.
(6) O le fi awọn fiimu irin, awọn fiimu alloy, fesi ati ṣepọ ọpọlọpọ awọn fiimu agbopọ (awọn agbo ogun amonia, awọn carbides, oxides), ati paapaa ṣepọ awọn fiimu DLC, awọn fiimu CN, bbl Aila-nfani rẹ ni pe lakoko ifisilẹ, awọn isun omi kekere ti wa ni splashed lati ibi-afẹde ibi-afẹde, eyiti o ṣopọ ni ipele fiimu ti o ni inira ati ki o pọ si iyẹfun fiimu naa. Lọwọlọwọ, ọpọlọpọ awọn ọna ti o munadoko ni a ti ṣe iwadi lati dinku ati imukuro awọn droplets micro wọnyi.
Igbale arc ioncoImọ-ẹrọ ating ti ni lilo pupọ lati wọ awọn aṣọ aabo superhard fun awọn irinṣẹ ati awọn apẹrẹ. Awọn ọna ẹrọ fiimu pẹlu TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, bbl Awọn ọja ti a fi n bo pẹlu awọn irinṣẹ, awọn apẹrẹ, bbl Ni awọn ofin ti wura imitation ati awọn ohun ọṣọ ti o ni idaabobo awọ, awọn ọna ẹrọ fiimu pẹlu TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ONr, awọn ọna ẹrọ dudu, ZNC, ati bẹbẹ lọ. dudu, eleyi ti, brown, blue Green grẹy, ati be be lo.
Multi arc ioncoating ni ọpọlọpọ awọn ohun elo ati ilowo to lagbara, ni pataki ni awọn ohun-ọṣọ ti a bo ati awọn ipele fiimu lile ti o ni wiwọ lori awọn ipele ti awọn ohun elo bii awọn irinṣẹ gige, awọn apẹrẹ, ati awọn awo irin alagbara.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹjọ-17-2023