רעאַקטיוו ספּאַטערינג קאָוטינג קעראַקטעריסטיקס און אַפּלאַקיישאַנז

אין דעם שפּאַטערינג קאָוטינג פּראָצעס, קענען קאַמפּאַונדז ווערן גענוצט ווי צילן פֿאַר דער צוגרייטונג פון כעמיש סינטעזירטע פילמען. אָבער, די קאָמפּאָזיציע פון ​​דעם פילם וואָס ווערט גענערירט נאָך שפּאַטערינג פון דעם ציל מאַטעריאַל ווייכט אָפט שטאַרק אָפּ פון דער אָריגינעלער קאָמפּאָזיציע פון ​​דעם ציל מאַטעריאַל, און דעריבער טרעפט עס נישט די באדערפענישן פון דעם אָריגינעלן פּלאַן. אויב מען ניצט אַ ריין מעטאַל ציל, ווערט דער פארלאנגטער אַקטיווער גאַז (למשל, זויערשטאָף ווען מען צוגרייטן אָקסייד פילמען) באַוואוסטזיניק געמישט אין דעם אַרבעטנדיקן (אָפּזאָגן) גאַז, אַזוי אַז עס רעאַגירט כעמיש מיטן ציל מאַטעריאַל צו פּראָדוצירן אַ דין פילם וואָס קען ווערן קאָנטראָלירט אין טערמינען פון זיין קאָמפּאָזיציע און כאַראַקטעריסטיקס. די מעטאָדע ווערט אָפט גערופן "רעאַקציע שפּאַטערינג".

ווי פריער דערמאנט, קען מען ניצן RF ספּוטערינג צו לייגן דיעלעקטרישע פילמען און פארשידענע קאמפאונד פילמען. אבער, כדי צו צוגרייטן א "ריינע" פילם, איז נויטיג צו האבן א "ריינע" ציל, א הויך-ריינהייט אקסייד, ניטריד, קארבייד, אדער אנדערע קאמפאונד פודער. צו פארארבעטן די פודערס אין א ציל פון א געוויסער פארעם פארלאנגט מען צולייגן צוגאב פון צוגאבן וואס זענען נויטיג פאר מאלדינג אדער סינטערינג, וואס רעזולטירט אין א באדייטנדיקע רעדוקציע אין דער ריינהייט פון דעם ציל און דעם רעזולטירנדיקן פילם. אבער, אין רעאקטיוו ספּוטערינג, ווייל מען קען ניצן הויך-ריינהייט מעטאלן און הויך-ריינהייט גאזן, ווערן באקוועמע באדינגונגען צוגעשטעלט פאר דער צוגרייטונג פון הויך-ריינהייט פילמען. רעאקטיוו ספּוטערינג האט באקומען מער אויפמערקזאמקייט אין די לעצטע יארן און איז געווארן א הויפט מעטאד פארן אויסליידיקן דינע פילמען פון פארשידענע פונקציאנעלע קאמפאונדן. עס איז ברייט גענוצט געוואָרן אין דער פּראָדוקציע פֿון IV, I- און IV-V פֿאַרבינדונגען, רעפֿראַקטאָרישע האַלב-קאָנדוקטאָרן, און אַ פֿאַרשיידנקייט פֿון אָקסיידן, אַזאַ ווי די נוצן פֿון פּאָליקריסטאַלין Si און CH₄/Ar געמישן פֿון גאַזן צו שיסן די אָפּזאַץ פֿון SiC דין פֿילמען, Ti טאַרגעט און N/Ar צו צוגרייטן TiN שווערע פֿילמען, Ta און O₂/Ar צו צוגרייטן TaO₂; דיעלעקטרישע דין פֿילמען, Fe און O₂/Ar צו צוגרייטן -FezO₂; -FezO₂ רעקאָרדינג פֿילמען, AIN פּיעזאָעלעקטרישע פֿילמען מיט A1 און N/Ar, A1-CO סעלעקטיווע אַבזאָרפּציע פֿילמען מיט AI און CO/Ar, און YBaCuO₃-סופּערקאַנדאַקטינג פֿילמען מיט Y-Ba-Cu און O/Ar, צווישן אַנדערע.

–דער אַרטיקל איז ארויסגעגעבן דורךוואַקוום קאָוטינג מאַשין פאַבריקאַנטגואַנגדאָנג זשענהואַ