איבערבליק פון וואַקוום קאַטאָדע אַרק יאָן קאָוטינג

וואַקוום קאַטאָדע אַרק יאָןcoאַטינג איז אַבריוויייטיד ווי וואַקוום באָגןcoאויב צוויי אדער מער וואַקוום באָגן פארדאַמפּונג קוואלן (באַצייכנט ווי באָגן קוואלן) ווערן גענוצט, ווערט דאָס גערופן מולטי באָגן יאָןcoאַטינג אָדער מולטי באָגןcoדאס איז א וואַקוום יאָן קאָוטינג טעכנאָלאָגיע וואָס ניצט וואַקוום אַרק דיסטשאַרדזש פֿאַר פארדאַמפּונג קוועלער. ניט ווי די הייסע עלעקטראָן אַרק פון ליידיק קאַטאָדע דיסטשאַרדזש, זיין אַרק פאָרעם איז די פאָרמירונג פון קאַטאָדע אַרק ספּאַץ אויף די ייבערפלאַך פון די קאַלט קאַטאָדע.

די קעראַקטעריסטיקס פון וואַקוום קאַטאָדע אַרק יאָןcoעסן זענען:

(1) די פארדאַמפּונג מקור איז אַ האַרטע קאַטאָדע ציל, וואָס דזשענערירט גלייך פּלאַזמע פֿון דער קאַטאָדע ציל מקור אָן די נויט פֿאַר אַ געשמאָלצן בעקן. די בויגן ציל מקור קען זיין אָרגאַניזירט אין יעדער ריכטונג און קייפל מקורים צו ענשור אַ גלייכמעסיק קאָוטינג.

(2) די עקוויפּמענט סטרוקטור איז רעלאַטיוו פּשוט, אָן די נויט פֿאַר אַרבעט גאַז אָדער הילפס יאָניזאַציע מעטאָדן. די בויגן ציל מקור איז ניט בלויז אַ פארדאַמפּונג מקור פֿאַר די קאַטאָדע מאַטעריאַל, אָבער אויך אַ יאָן מקור; בעשאַס רעאַקטיוו דעפּאָזיציע, בלויז רעאַקטיוו גאַז עקזיסטירט, און די אַטמאָספער איז קאַנטראָולד ניצן אַ פּשוט פול דרוק קאָנטראָל.

(3) די ייאַניזאַציע קורס איז הויך, בכלל דערגרייכנדיג 60% ~ 80%, און די דעפּאַזישאַן קורס איז הויך.

(4) די אינצידענט יאָן ענערגיע איז הויך, און די פילם/סאַבסטראַט פֿאַרבינדונג קראַפט פון די דעפּאָזיטעד פילם איז גוט.

(5) ניצן אַ נידעריק וואָולטידזש מאַכט צושטעל פֿאַר זיכער אָפּעראַציע.

(6) עס קען אפלייגן מעטאל פילמען, צומיש פילמען, רעאגירן און סינטעזירן פארשידענע קאמפאונד פילמען (אמאניאק קאמפאונדס, קארבידן, אקסיידן), און אפילו סינטעזירן DLC פילמען, CN פילמען, א.א.וו. איר חסרון איז אז בעת אפלייגן ווערן קליינע טראפלעך פליסיקייט געשפריצט ​​פון דער ציל-איבערפלאך, וואס קאנדענסירן זיך אין דער באדעקטער פילם-שיכט און פארגרעסערן די גראבקייט פון דער פילם-שיכט. איצט זענען פארשידענע עפעקטיווע מעטאדן געווארן שטודירט צו רעדוצירן און עלימינירן די מיקרא-טראפלעך.

וואַקוום אַרק יאָןcoבאַדעקן טעכנאָלאָגיע איז ברייט גענוצט געוואָרן צו באַדעקן סופּערהאַרטע פּראַטעקטיוו קאָוטינגז פֿאַר מכשירים און פורמען. פילם סיסטעמען אַרייַננעמען TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, אאז"וו. קאָוטינג פּראָדוקטן אַרייַננעמען מכשירים, פורמען, אאז"וו. אין טערמינען פון נאָכמאַכן גאָלד און קאָליר דעקאָראַטיווע פּראַטעקטיוו קאָוטינגז, פילם סיסטעמען אַרייַננעמען TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, אאז"וו. קאָליר פילם סיסטעמען אַרייַננעמען ביקס שוואַרץ, שוואַרץ, לילאַ, ברוין, בלוי גרין גרוי, אאז"וו.

מולטי-אַרק יאָןcoאַטינג האט אַ ברייט קייט פון אַפּלאַקיישאַנז און שטאַרק פּראַקטיקאַליטי, ספּעציעל אין קאָוטינג דעקאָראַטיווע און טראָגן-קעגנשטעליק שווער פילם לייַערס אויף די סערפאַסיז פון מאַטעריאַלס אַזאַ ווי קאַטינג מכשירים, פורעם און ומבאַפלעקט שטאָל פּלאַטעס.