Phủ nguồn bốc hơi điện trở là phương pháp phủ bốc hơi chân không cơ bản. “Bốc hơi” là phương pháp chế tạo màng mỏng trong đó vật liệu phủ trong buồng chân không được gia nhiệt và bốc hơi, để các nguyên tử hoặc phân tử vật liệu bốc hơi và thoát ra khỏi bề mặt, tạo thành hiện tượng dòng hơi, va chạm vào bề mặt của chất nền hoặc chất nền, và cuối cùng ngưng tụ thành màng rắn.
Phương pháp phủ nguồn bốc hơi điện trở là sử dụng tantalum, molypden, vonfram và các kim loại có điểm nóng chảy cao khác để tạo ra nguồn bốc hơi có hình dạng thích hợp, được nạp vật liệu cần bốc hơi, cho không khí lưu thông qua, trực tiếp làm nóng và bốc hơi các vật liệu đã bốc hơi, hoặc đưa các vật liệu cần bốc hơi vào các nồi nấu kim loại nhôm, berili oxit và các vật liệu khác để gia nhiệt và bốc hơi gián tiếp. Đây là phương pháp bốc hơi gia nhiệt điện trở.
Cácmáy phủ bốc hơi chân khôngđun nóng và bốc hơi bằng lò sưởi điện trở có ưu điểm là cấu trúc đơn giản, chi phí thấp và sử dụng đáng tin cậy. Nó có thể được sử dụng để phủ bay hơi các vật liệu có điểm nóng chảy thấp, đặc biệt là sản xuất hàng loạt với yêu cầu thấp về chất lượng lớp phủ. Cho đến nay, vẫn còn một số lượng lớn các quy trình phủ gia nhiệt và bốc hơi điện trở được đưa vào sử dụng trong sản xuất gương nhôm hóa.
Nhược điểm của phương pháp phủ bốc hơi nguồn điện trở là nhiệt độ tối đa có thể đạt được bằng cách gia nhiệt bị hạn chế và tuổi thọ của lò sưởi cũng ngắn. Trong những năm gần đây, để cải thiện tuổi thọ của nguồn bốc hơi điện trở, nhà máy thiết bị đã áp dụng vật liệu gốm dẫn điện được tổng hợp bởi bo nitrua có tuổi thọ cao làm nguồn bốc hơi. Theo báo cáo bằng sáng chế của Nhật Bản, có thể sử dụng vật liệu bao gồm 20% ~ 30% bo nitrua và vật liệu chịu lửa có thể được hợp nhất với nó để tạo ra nguồn bốc hơi (lò nung), và phủ bề mặt của nó bằng một lớp zirconium chứa 62% ~ 82%, và phần còn lại là vật liệu hợp kim zirconium-silicon.
Thời gian đăng: 22-04-2023