Trong quá trình phủ phun, các hợp chất có thể được sử dụng làm mục tiêu để chế tạo màng tổng hợp hóa học. Tuy nhiên, thành phần của màng được tạo ra sau khi phun vật liệu mục tiêu thường khác xa so với thành phần ban đầu của vật liệu mục tiêu và do đó không đáp ứng được các yêu cầu của thiết kế ban đầu. Nếu sử dụng mục tiêu kim loại nguyên chất, khí hoạt tính cần thiết (ví dụ: oxy khi chế tạo màng oxit) được trộn có chủ đích vào khí làm việc (xả), để nó phản ứng hóa học với vật liệu mục tiêu để tạo ra màng mỏng có thể kiểm soát được về thành phần và đặc điểm của nó. Phương pháp này thường được gọi là "phun phản ứng".
Như đã đề cập trước đó, phương pháp phún xạ RF có thể được sử dụng để lắng đọng các màng điện môi và nhiều màng hợp chất khác nhau. Tuy nhiên, để chế tạo một màng “tinh khiết”, cần phải có một mục tiêu “tinh khiết”, một loại bột oxit, nitrua, cacbua hoặc hợp chất khác có độ tinh khiết cao. Việc chế biến các loại bột này thành mục tiêu có hình dạng nhất định đòi hỏi phải bổ sung các chất phụ gia cần thiết để đúc hoặc thiêu kết, dẫn đến độ tinh khiết của mục tiêu và màng thu được giảm đáng kể. Tuy nhiên, trong phương pháp phún xạ phản ứng, vì có thể sử dụng kim loại và khí có độ tinh khiết cao, nên các điều kiện thuận lợi được cung cấp để chế tạo các màng có độ tinh khiết cao. Phương pháp phún xạ phản ứng ngày càng được chú ý trong những năm gần đây và đã trở thành một phương pháp chính để kết tủa các màng mỏng của nhiều hợp chất chức năng khác nhau. Nó đã được sử dụng rộng rãi trong sản xuất các hợp chất IV, I- và IV-V, chất bán dẫn chịu lửa và nhiều loại oxit, chẳng hạn như sử dụng hỗn hợp khí đa tinh thể Si và CH./Ar để bắn kết tủa màng mỏng SiC, mục tiêu Ti và N/Ar để tạo màng cứng TiN, Ta và O/Ar để tạo TaO; màng mỏng điện môi, Fe và O,/Ar để tạo màng -FezO; màng ghi -FezO., màng áp điện AIN với A1 và N/Ar, màng hấp thụ chọn lọc A1-CO với AI và CO/Ar, và màng siêu dẫn YBaCuO-với Y-Ba-Cu và O/Ar, trong số những loại khác.
– Bài viết này được phát hành bởinhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng: 18-01-2024