Tổng quan về lớp phủ ion hồ quang catốt chân không

Ion hồ quang catốt chân khôngcoating được viết tắt là chân không arccoating. Nếu sử dụng hai hoặc nhiều nguồn bốc hơi hồ quang chân không (gọi là nguồn hồ quang), thì được gọi là ion hồ quang đacoating hoặc nhiều cungcoating. Đây là công nghệ phủ ion chân không sử dụng phóng điện hồ quang chân không cho các nguồn bốc hơi. Không giống như hồ quang điện tử nóng của phóng điện catốt rỗng, dạng hồ quang của nó là sự hình thành các điểm hồ quang catốt trên bề mặt catốt lạnh.

Đặc điểm của hồ quang catốt chân khôngcođang ăn là:

(1) Nguồn bốc hơi là mục tiêu catốt rắn, trực tiếp tạo ra plasma từ nguồn mục tiêu catốt mà không cần hồ nóng chảy. Nguồn mục tiêu hồ quang có thể được sắp xếp theo bất kỳ hướng nào và nhiều nguồn để đảm bảo lớp phủ đồng đều.

(2) Cấu trúc thiết bị tương đối đơn giản, không cần khí làm việc hoặc phương pháp ion hóa phụ trợ. Nguồn mục tiêu hồ quang không chỉ là nguồn bốc hơi cho vật liệu catốt mà còn là nguồn ion; Trong quá trình lắng đọng phản ứng, chỉ có khí phản ứng tồn tại và bầu khí quyển được kiểm soát bằng cách sử dụng điều khiển áp suất đầy đủ đơn giản.

(3) Tỷ lệ ion hóa cao, thường đạt 60%~80%, tỷ lệ lắng đọng cao.

(4) Năng lượng ion tới cao, lực liên kết màng/chất nền của màng lắng đọng tốt.

(5) Sử dụng nguồn điện áp thấp để vận hành an toàn.

(6) Nó có thể lắng đọng màng kim loại, màng hợp kim, phản ứng và tổng hợp các màng hợp chất khác nhau (hợp chất amoniac, cacbua, oxit), và thậm chí tổng hợp màng DLC, màng CN, v.v. Nhược điểm của nó là trong quá trình lắng đọng, các giọt chất lỏng nhỏ bị bắn ra từ bề mặt mục tiêu, ngưng tụ trong lớp màng phủ và làm tăng độ nhám của lớp màng. Hiện nay, nhiều phương pháp hiệu quả đã được nghiên cứu để giảm và loại bỏ các giọt siêu nhỏ này.

Ion hồ quang chân khôngcoCông nghệ mạ đã được sử dụng rộng rãi để phủ lớp phủ bảo vệ siêu cứng cho dụng cụ và khuôn. Hệ thống màng bao gồm TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC, v.v. Sản phẩm phủ bao gồm dụng cụ, khuôn, v.v. Về lớp phủ bảo vệ trang trí màu và giả vàng, hệ thống màng bao gồm TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, Ti-ON, TONC, ZrCN, Zr-ON, v.v. Hệ thống màng màu bao gồm đen súng, đen, tím, nâu, xanh lam, xanh lục, xám, v.v.

Ion đa cungcoSơn phủ có nhiều ứng dụng và tính thực tiễn cao, đặc biệt là trong việc phủ các lớp màng cứng trang trí và chống mài mòn trên bề mặt vật liệu như dụng cụ cắt, khuôn mẫu và tấm thép không gỉ.