Sputtering qoplama jarayonida aralashmalar kimyoviy sintezlangan plyonkalarni tayyorlash uchun maqsad sifatida ishlatilishi mumkin. Biroq, maqsadli materialning purkalganidan keyin hosil bo'lgan plyonkaning tarkibi ko'pincha maqsadli materialning asl tarkibidan juda farq qiladi va shuning uchun original dizayn talablariga javob bermaydi. Agar sof metall nishon ishlatilsa, kerakli faol gaz (masalan, oksid plyonkalarini tayyorlashda kislorod) ishchi (bo'shatish) gaziga ongli ravishda aralashtiriladi, shuning uchun u maqsadli material bilan kimyoviy reaksiyaga kirishib, tarkibi va xususiyatlari bo'yicha boshqarilishi mumkin bo'lgan yupqa plyonka hosil qiladi. Ushbu usul ko'pincha "reaktsiyali püskürtme" deb ataladi.
Avval aytib o'tganimizdek, RF püskürtme dielektrik plyonkalarni va turli xil birikma plyonkalarni joylashtirish uchun ishlatilishi mumkin. Biroq, "sof" plyonkani tayyorlash uchun "sof" maqsad, yuqori toza oksid, nitrid, karbid yoki boshqa birikma kukuniga ega bo'lish kerak. Ushbu kukunlarni ma'lum bir shakldagi nishonga qayta ishlash kalıplama yoki sinterlash uchun zarur bo'lgan qo'shimchalarni qo'shishni talab qiladi, bu esa maqsad va natijada olingan plyonkaning tozaligini sezilarli darajada kamaytiradi. Reaktiv püskürtmeda esa yuqori tozalikdagi metallar va yuqori toza gazlardan foydalanish mumkinligi sababli, yuqori toza plyonkalarni tayyorlash uchun qulay sharoitlar ta'minlanadi. Reaktiv püskürtme so'nggi yillarda tobora ko'proq e'tiborga sazovor bo'ldi va turli funktsional birikmalarning yupqa qatlamlarini cho'ktirishning asosiy usuliga aylandi. U IV, I- va IV-V birikmalari, o'tga chidamli yarimo'tkazgichlar va turli oksidlarni ishlab chiqarishda keng qo'llanilgan, masalan, polikristalli Si va CH./Ar gazlar aralashmasidan SiC yupqa plyonkalarni cho'ktirish uchun, Ti maqsadli va N / Ar TiN qattiq plyonkalarini tayyorlash uchun, Ta va O / Ar tayyorlash uchun; dielektrik yupqa plyonkalar, Fe va O,/Ar tayyorlash uchun -FezO; -FezO. yozib olish plyonkalari, A1 va N/Ar bilan AIN piezoelektrik plyonkalari, AI va CO/Ar bilan A1-CO selektiv yutuvchi plyonkalar va Y-Ba-Cu va O/Ar bilan YBaCuO o‘ta o‘tkazuvchan plyonkalar va boshqalar.
- Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Xabar vaqti: 2024 yil 18-yanvar