Vakuumli katod yoy ionicoating vakuum yoyi deb qisqartiriladicoovqatlanish. Ikki yoki undan ortiq vakuumli bug'lanish manbalari (yoy manbalari deb ataladi) ishlatilsa, u ko'p yoyli ion deb ataladi.coating yoki multi arccoovqatlanish. Bu bug'lanish manbalari uchun vakuum yoyi deşarjdan foydalanadigan vakuumli ion qoplama texnologiyasidir. Bo'shliq katodli razryadning issiq elektron yoyidan farqli o'laroq, uning yoy shakli sovuq katod yuzasida katod yoyi dog'larining hosil bo'lishidir.
Vakuumli katod yoy ionining xususiyatlaricobular:
(1) Bug'lanish manbai qattiq katod nishoni bo'lib, u eritilgan hovuzga ehtiyoj sezmasdan to'g'ridan-to'g'ri katod maqsadli manbadan plazma hosil qiladi. Ark maqsadli manba har qanday yo'nalishda va bir xil qoplamani ta'minlash uchun bir nechta manbalarda joylashtirilishi mumkin.
(2) Uskunaning tuzilishi nisbatan sodda, ishchi gaz yoki yordamchi ionlash usullariga ehtiyoj sezmaydi. Ark maqsadli manba nafaqat katod materiali uchun bug'lanish manbai, balki ion manbai hamdir; Reaktiv cho'kish paytida faqat reaktiv gaz mavjud va atmosfera oddiy to'liq bosim nazorati yordamida boshqariladi.
(3) Ionlanish darajasi yuqori, odatda 60% ~ 80% ga etadi va cho'kish darajasi yuqori.
(4) Voqea sodir bo'lgan ion energiyasi yuqori va yotqizilgan plyonkaning plyonka / substratni bog'lash kuchi yaxshi.
(5) Xavfsiz ishlash uchun past kuchlanishli quvvat manbaidan foydalanish.
(6) U metall plyonkalarni, qotishma plyonkalarni joylashtirishi, turli xil birikma plyonkalarni (ammiak birikmalari, karbidlar, oksidlar) reaksiyaga kirishishi va sintez qilishi va hatto DLC plyonkalarini, CN plyonkalarini va boshqalarni sintez qilishi mumkin. Uning kamchiligi shundaki, cho'kish paytida maqsadli sirtdan mayda suyuqlik tomchilari sochilib, plyonka qatlamining zichligini oshiradi. Hozirgi vaqtda ushbu mikrotomchilarni kamaytirish va yo'q qilishning ko'plab samarali usullari o'rganilgan.
Vakuum yoyi ionicoating texnologiyasi asboblar va qoliplar uchun super qattiq himoya qoplamalarini qoplash uchun keng qo'llanilgan. Kino tizimlari TiN, ZrN, HfN, TiAIN, TiC, TiNC, CrN, Al2O3, DLC va boshqalarni o'z ichiga oladi. Qoplama mahsulotlari asboblar, qoliplar va boshqalarni o'z ichiga oladi. Oltin taqlid va rangli dekorativ himoya qoplamalari nuqtai nazaridan, kino tizimlariga TiN, ZrN, TiAIN, TiAINC, TC, TiNC, DLC, TiAIN, Ti-ONONC, Rangli filmlar, Zr filmlar va boshqalar kiradi. qurol qora, qora, binafsha, jigarrang, ko'k Yashil kulrang va boshqalar.
Ko'p yoyli ioncoating keng ko'lamli ilovalar va kuchli amaliylikka ega, ayniqsa kesish asboblari, qoliplar va zanglamaydigan po'lat plitalar kabi materiallarning sirtlarida dekorativ va aşınmaya bardoshli qattiq plyonkali qatlamlarni qoplashda.
Xabar vaqti: 2023-yil 17-avgust

