ری ایکٹو سپٹرنگ کوٹنگ کی خصوصیات اور ایپلی کیشنز

اسپٹرنگ کوٹنگ کے عمل میں، مرکبات کو کیمیائی طور پر ترکیب شدہ فلموں کی تیاری کے لیے اہداف کے طور پر استعمال کیا جا سکتا ہے۔ تاہم، ٹارگٹ میٹریل کے پھٹنے کے بعد بننے والی فلم کی ترکیب اکثر ہدف والے مواد کی اصل ساخت سے بہت ہٹ جاتی ہے، اور اس لیے اصل ڈیزائن کی ضروریات کو پورا نہیں کرتی۔ اگر ایک خالص دھاتی ہدف استعمال کیا جاتا ہے، تو مطلوبہ فعال گیس (مثلاً آکسیجن جب آکسائیڈ فلمیں تیار کرتے ہیں) کو شعوری طور پر کام کرنے والی (خارج) گیس میں ملایا جاتا ہے، تاکہ یہ ہدف کے مواد کے ساتھ کیمیائی طور پر رد عمل ظاہر کر کے ایک پتلی فلم تیار کرے جسے اس کی ساخت اور خصوصیات کے لحاظ سے کنٹرول کیا جا سکتا ہے۔ اس طریقہ کار کو اکثر "ری ایکشن سپٹرنگ" کہا جاتا ہے۔

جیسا کہ پہلے ذکر کیا گیا ہے، آر ایف سپٹرنگ کو ڈائی الیکٹرک فلموں اور مختلف کمپاؤنڈ فلموں کو جمع کرنے کے لیے استعمال کیا جا سکتا ہے۔ تاہم، ایک "خالص" فلم تیار کرنے کے لیے، "خالص" ہدف، اعلیٰ پاکیزگی والا آکسائیڈ، نائٹرائڈ، کاربائیڈ، یا دیگر مرکب پاؤڈر ہونا ضروری ہے۔ ان پاؤڈرز کو کسی خاص شکل کے ہدف میں پروسیس کرنے کے لیے مولڈنگ یا سنٹرنگ کے لیے ضروری اضافی اشیاء شامل کرنے کی ضرورت ہوتی ہے، جس کے نتیجے میں ہدف اور نتیجے میں بننے والی فلم کی پاکیزگی میں نمایاں کمی واقع ہوتی ہے۔ تاہم، رد عمل میں پھوٹ پڑنے میں، چونکہ اعلیٰ پاکیزگی والی دھاتیں اور اعلیٰ پاکیزگی والی گیسیں استعمال کی جا سکتی ہیں، اس لیے اعلیٰ پاکیزگی والی فلموں کی تیاری کے لیے آسان حالات فراہم کیے جاتے ہیں۔ حالیہ برسوں میں ری ایکٹیو سپٹرنگ کو بڑھتی ہوئی توجہ ملی ہے اور یہ مختلف فنکشنل مرکبات کی پتلی فلموں کو تیز کرنے کا ایک بڑا طریقہ بن گیا ہے۔ یہ بڑے پیمانے پر IV، I- اور IV-V مرکبات، ریفریکٹری سیمی کنڈکٹرز، اور مختلف قسم کے آکسائیڈز کی تیاری میں استعمال ہوتا رہا ہے، جیسے کہ پولی کرسٹل لائن Si اور CH./Ar گیسوں کے مرکب کا استعمال SiC پتلی فلموں کی بارش کو گولی مارنے کے لیے، Ti ٹارگٹ اور N/Ar کو TiN اور O مشکل فلموں کو تیار کرنے کے لیے؛ ڈائی الیکٹرک پتلی فلمیں، Fe اور O،/Ar تیار کرنے کے لیے -FezO؛ -FezO. ریکارڈنگ فلمیں، A1 اور N/A کے ساتھ AIN پیزو الیکٹرک فلمیں، AI اور CO/A کے ساتھ A1-CO سلیکٹیو جذب کرنے والی فلمیں، اور Y-Ba-Cu اور O/Ar کے ساتھ YBaCuO-سپر کنڈکٹنگ فلمیں، دیگر کے ساتھ۔

-یہ مضمون کی طرف سے جاری کیا گیا ہےویکیوم کوٹنگ مشین بنانے والاگوانگ ڈونگ زینہوا