Що таке покриття джерела опору випаровування?

Покриття методом резистивного випаровування – це базовий метод вакуумного випаровування. «Випаровування» стосується методу приготування тонкої плівки, при якому матеріал покриття нагрівається та випаровується у вакуумній камері, в результаті чого атоми або молекули матеріалу випаровуються та виходять з поверхні, утворюючи явище потоку пари, який падає на поверхню підкладки або основи та, зрештою, конденсується, утворюючи тверду плівку.

Так званий метод покриття джерелом резистивного випаровування полягає у використанні танталу, молібдену, вольфраму та інших металів з високою температурою плавлення для створення відповідної форми джерела випаровування, яке завантажують матеріалами, що випаровуються, пропускають повітря, безпосередньо нагрівають та випаровують випаровані матеріали, або поміщають матеріали, що випаровуються, в тиглі з глинозему, оксиду берилію та інших тиглів для непрямого нагрівання та випаровування. Це метод випаровування з резистивним нагріванням.

Theмашина для вакуумного випаровування покриттяНагрівання та випаровування за допомогою резистивного нагрівача має такі переваги, як проста конструкція, низька вартість та надійність використання. Його можна використовувати для випаровування матеріалів з низькою температурою плавлення, особливо для масового виробництва з низькими вимогами до якості покриття. На сьогоднішній день існує велика кількість процесів нанесення покриттів методом резистивного нагрівання та випаровування, що використовуються у виробництві алюмінізованих дзеркал.

Недоліками методу випарного покриття з використанням джерела резистивного випаровування є обмежена максимальна температура, якої можна досягти при нагріванні, а також короткий термін служби нагрівача. В останні роки, щоб покращити термін служби джерела резистивного випаровування, завод з виробництва обладнання застосував як джерело випаровування провідний керамічний матеріал, синтезований з нітриду бору, з тривалим терміном служби. Згідно з японським патентним звітом, для створення джерела випаровування (тигля) можна використовувати матеріали, що складаються з 20%~30% нітриду бору та вогнетривких матеріалів, які можна сплавити з ним, та покривати його поверхню шаром цирконію, що містить 62%~82%, а решта - це цирконієво-кремнієві сплави.